MEMS麦克风.pptx

引言 MEMS麦克风是一种具有ECM（驻极体电容）麦克风功能的固态声音感应芯片，正在被广泛用于手机、平板电脑、笔记本电脑、智能电视、汽车语音识别、游戏机和遥控器等现代设备中。 根据市调机构IHS iSuppli的市场预测，由于MEMS麦克风可靠的单片结构、优异的抗机械振动性能、紧凑的尺寸和可选数字输出，使消费电子和手机 MEMS麦克风市场在2010至2014年间将实现23%的复合年增长率。 此外，MEMS麦克风阵列可大幅改进音质。意法半导体的MEMS麦克风尺寸紧凑，灵敏度匹配优异，频响出色，能够在麦克风阵列中实现噪声回响主动消除和声波成束功能。声波成束是一个切断声音与位置关系的音频处理技术。随着手机等移动设备在吵闹和不可控制环境中的使用频率不断增加，噪声抑制和声波成束功能变得十分有用。 MEMS麦克风结构 MEMS麦克风主要分为模拟放筒和数字麦克风两大类：模拟麦克风是将声音信号转化成相应电压输出；数字麦克风将声音转化成数字输出（典型输出是脉冲密度调制PDM）。 MEMS麦克风本质上就是声音变送器。 变送原理是改变固定板（背板）和运动板（振膜）之间的耦合电容 声音穿透声孔，推动振膜运动，调节两个传导板之间的气隙，从而引起电容变化 后室是声音共振器 通风孔排出后室内的压缩空气，以便振膜恢复原状。 图2. MEMS麦克风基本结构 PCM and PDM 脉冲编码调制（英文：Pu