急速升温退火设备招标规范书.docVIP

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 招標規範書 目錄 壹、說明 3 貳、急速升溫退火設備採購規範 3 叁. 規格審查文件 6 肆. 履約期限 6 陸. 保固 8 柒.其他 8  壹、說明 本規範適用於國家奈米元件實驗室(Rapid Thermal Oxidation/Anneal Process)製程應用之設備採購之一般要求，本招標規格書有任何疑慮依業主解釋為準。 貳、設備採購規範 　一、設備需求腔體※所用的真空壓力計為全新品 ※機台端的過濾器為全新品2006年以後製1. 晶舟預抽室(Cassette Chamber/Loadlock)　a.腔體材質：一體成型的腔體，以確保良好的高真空狀態。 b.真空顯示：真空計使用範圍 ~1000torr，可偵測最小單位為1 mTorr。 　c.真空系統：提供晶舟預抽室的真空，　d.晶圓掃描：以圖像方式顯示晶圓所在位置，其中最多可入25片八吋矽晶圓。 　e.升降機台：處理八吋的晶圓載盤的Cassette)：需配有兩個，每個最多入25片八吋矽晶圓2. 晶圓傳送室(Transfer Chamber)　a.腔體材質：一體成型的腔體，以確保良好的高真空狀態。能搭載個製程腔體 　b.真空顯示：真空計使用範圍 Torr~1000torr，可偵測最小單位為1 mTorr。 　c.真空系統：提供的真空，　d.機械手臂：。 (1)配有偵測器，可以偵測