小F数标准球波面透镜组的F#39;C重合误差分析.pdfVIP

中阔激光 Vol. 31 , No.7 第 31 警第7 期 2扫04 年 7 丹 CHINESE JOURNAL OF LASERS July. 2004 文章剿悔: 0258..7025(2004)07 , 0793-04 小 Y 般标准球被困避镜姐的FC 撞合误辈分析 高志山 东理I大学电子工程与光电校术学院，江苏淄豆豆 210094) 摘3喜 标准球波哥哥避镜组是光干涉计嫌测试凸、阴球磁副形脸擎的鳖骥恻擞器具，它能产t p-V 僚优于./20(.\ 明 Q. 6328μm)的标准球面波.滋镜组中来球面Jg标礁球凶。}:i;使用特点婆求透锅烧的焦点 Y 勾来面球心C 重合4 如 柴存在数含谈盏，如1)喜于董事在辑部影被楼时余部人溅jJ;系统说幸言.然辛辛分析了Fc 的允许置在会谈装与激镀t!l F 费生等 感酷的关罩，:ii闲 ZEMAX 光学设计软件模拟输出罪~J小 F 费生标准球被\!lï透锦组允许的 FC 重告说直是，并设什;!l; 骏则试方案.得到反映标准~挂在llíl 选镜t!l FC î量告说菜的干涉朗，它们的波像章是均小予以制1ÍIl.理论分析与实骏测试 馆柴可知.F 数很小〈如 FII. 5.F/O.15l 的栋准虫草ílíi 透镜缀.Fc 窒啻谈呈在小子。.03 m拙，主要交达到微增蜜级 *镰诩 光学校术与仪梯;谈援分析;光学设lt.球被隔B 干渺仪 tþ 圈分~~昏 。 ω5.2 义民串串识鹤 A Analysis of Coincidence Tolerance between F and C for the Transmîssion Spheres with Small F.幡Numb牵r GAO Zhi俐shan (S命帽1 ()f Etectmnù: E吨臼阳ing 忌。#阳electγ抽泣 T.cI时吨础， Nanjing University of Science and Tech栩如在y. Na町ingl Jiangm 210094 , China) A如tract The lens as黯embly produdn醒时ference transm恼剧。a 吨曲时ical wavefront i忌 1m扣押tant device for 柑旺 of convex or concave spherical surfaces in an ïnterfErom旧时 and ìt can offer a high-qualìty spherical wave and s reference spherical surface w刊h peak-tO-valley l{,! ss than λ/20 (λ 剧。.6328μm). Accordin喀帕 theír utílity , the 四四时ute cent时(Cl of i 幅 i酬金 spherical 阳rfaçet 嗣 a reference , shöuld roíncide with its focu弘 The mathematical form is deduce川d for showing the relation between thc deviation of F and C .ancl the F~number for a refcrc:阳已 transmìssiùn sphere. 11四 sÎmulation of calculatîn，且 the coin口dence tolerance between r and C附 shown witb ZEMAX