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紫外-真空紫外辐射标准光源的比对.pdf

第12 卷 第4 期 光学精密工程 VoI. 12 No. 4 2004 年8 月 Optics and Precision Engineering Aug. 2004 文章编号 1004-924X(2004 )04-0373-07 紫外-真空紫外辐射标准光源的比对 1,2 1 1 邢 进 , 王淑荣 ,李福田 (1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033 ; 2 . 中国科学院研究生院,北京 100039 ) 摘要:建立了高精度光谱辐射计量系统,给出了164 ~ 300 nm 波长间3 个光谱辐射标准氘灯光源的比对结果。其中3 个 光谱辐射标准氘灯光源分别以德国国家物理技术研究院(PTB )BESSY !同步辐射、英国国家物理实验室(NPL ) Daresburg 同步辐射、中国合肥(国家同步辐射实验室)同步辐射为标准标定。实验中采用相互交替的比对顺序、微机控 制比对时间以及抛光氘灯端窗等方法有效的消除了系统误差。实验数据分析结果表明:3 个光谱辐射标准氘灯光源的 相对光谱分布,在各自给定的不确定度范围内相一致,这也间接的验证了各国建立的紫外-真空紫外辐射标准的一致性。 实验中比对引进的误差为1. 7% 。同时也研究了氘灯的光谱辐射特性。 关 键 词:紫外-真空紫外光谱辐射标准;氘灯;同步辐射;光谱辐射亮度 中图分类号: O482 . 31 文献标识码:A Comparisons between radiometric scales on UV-VUV radiant standard light sources XING Jin1,2 ,WANG Shu-rong1 ,LI Fu-tian1 (1. State Key Lab of App lied Op tics ,Changchun Institute of Op tics ,Fine Mechanics and Physics ,Chinese Academy of Sciences ,Changchun 130033 ,China ; 2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences ,Beij ing 10039 ,China ) Abstract :A high precision spectroradiometric system was estabIished ,and the comparisons between three spectraI radiant standard sources - deuterium Iamps in the range of 164 ~ 300nm were given. The three transfer standard deuterium Iamps are caIibrated based on :BESSY ! Synchrotron Radiation of German NationaI Insti- tute of Science and TechnoIogy for MetroIogy (PTB ),Daresburg Synchrotron Radiation of

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