【2017年整理】三激光衍射测量技术.pptVIP

激光测量技术Laser Measurement Technology;第三章 激光衍射测量技术 ;二、单缝衍射测量;被测物尺寸改变;例：;;三 、圆孔衍射测量;1、间隙测量法;(1) 绝对测量法;测量应变装置:;2、反射衍射测量法;有 ;特点：;3.分离间隙法;P2点出现暗条纹的条件： ;当k1=k2时;4、互补测量法;细丝,薄带可进行衍射测量:;5.爱里斑测量法;6.衍射频谱检测法;1.傅里叶变换检测法 直接利用透镜的傅里叶变换特性，用光电探器 探测物体的频谱，对信号进行分析和处理、然后判 定是否有缺陷。;2. 二次傅里叶变换检测法 利用透镜衍射的二次傅里叶变换。获得被检缺 陷的像，用目视或光电检测直接判定缺陷大小以及 缺陷的位置。;一、构成各种物理量的传感器;二、薄膜材料表面涂层厚度测量;此类微小间隔测量装置还可以用于旋转轴的径向跳动、圆棒直径的变化和圆柱度等的静态和动态测量;三、全长剖量测量;四、位移和间隔的远离测量;五、振动的测量;六、直径和薄带宽度测量;为避免CCD探测器饱和，扩大CCD动态范围，将零级条纹挡去。;暗点识别：为得到精确的测量结果必须对信号衍射图样进行精确的识别，包括以下两方面： ( 1) 能自动识别出一帧CCD 信号衍射图样中暗点的个数; ( 2) 能精确地定位每个暗点对应的位置;;由于很多不确定因素的存在, 使得待识别的信号在局部区域