《测控仪器设计(第2版)》浦昭邦 王宝光第4章.ppt

（二）空气静压导轨 气体静压导轨因其工作平稳、可靠、运动精 度高、无磨损、无爬行，而在精加工设备和精密 仪器中得到广泛应用。但它承载力较低，导轨刚 度较差，又需要一套清洁稳定的压缩空气源是其 不足之处。 优缺点 如图4-38所示，经过过滤和稳压后的压缩空气具 有Ps压力，它进入直径为d的节流孔再进入气室 （直径为2a），压力降至pr，然后进入气垫平面 与固定导轨面间的间隙h中，沿径向流入大气，压 力变为大气压p0，pr的大小与节流孔d及h有关， 间隙h越小，则压力越大。气垫面上圆环形截面影 响承载力大小，而和介质粘度无关。当负载增加 为W+△W时，间隙由h减小到 ，使气室压力pr增 加至pr′，在节流孔中产生压力差 ，同 时气垫上平均压力也增大，产生与△W相反的作 用力，而保持动导轨的平衡。 简单的气垫工作原理 空气静压导轨在导轨上有气垫，当压缩空气引入后，由于压缩空气的静压力而使动导轨及工作台浮起，图4-37是三坐标测量机X向导轨的气垫布置图。气垫1、2、6起支承作用，并保证垂向直线度；气垫3、5是导向气垫，保证X向运动直线度；而气垫4起平衡和预载荷作用。 工作原理与特点 空气静压导轨 开式真空吸附平衡型 见图4-39d，其结构与重量平衡型 相同。由真空泵的真空压力来限制工作台的浮起量，因 此，可以减少工作台浮起间隙量，甚至可以减少到 1μm，故可提高刚度。常在微细加工设备中应用。如 250CC型图形发生器X向导轨，就是用气垫中心真空吸 附加载的，在气垫外环有气浮平衡以保持间隙。 开式真空吸附平衡型 见图4-39c，这是工作台重量（包括负载）与空气静压相 平衡保持一定间隙的一种形式，其结构简单、零件加工 也比较容易。但刚度小，承载能力低，可用于负载变动 小的精密仪器和测量仪器。 开式重量平衡型 见图4-39b，结构简单，零件的精度可由机械加工保证。 随着工作台的移动，导向圆轴可能产生挠度，故不适用 做长导轨，可用于高精度、高稳定性的短行程工作台的 导轨。 闭式圆柱或矩形导轨型 见图4-39a，导轨精度高，刚性大，承载能力也大，最适 于作精密机械的长行程导轨。经过研磨，使导轨面的精 度和导轨与工作台之间的间隙达到所需要的数值 。 闭式平面导轨型 空气静压导轨 提高气浮导轨性能的方法 为提高空气静压导轨的刚度和承载能力，可采用以下几种方法： 1）结构上采用闭式导轨，闭式导轨的工作面由两个相对安装的止推轴承构成，它的刚度一般为单面导轨的两倍，呈线性承载特性，稳定性好，运动精度高。 2）增加供气压力，增加供气压力可提高气膜的刚度。 3）减小浮起间隙，加大封闭力，在一定范围内气浮导轨的刚度随气膜厚度的减小而增大。 4） 载荷补偿，在导轨内或供气回路中，安装载荷补偿机构，使气浮导轨在载荷发生变化时，浮起量变化很小，从而使刚度增大。 5）提高阻尼力增加刚度，如采用粉末冶金多孔材料节流器，用大面积微孔节流代替小孔节流，使静压导轨刚度提高；采用气、液双向润滑液，因润滑面含有油层，而增加滑动阻尼，使导轨运动方向的刚度增加；采用半气浮导轨，使导轨面有部分接触，保持恒定的库伦摩擦力，又有适当的阻力，提高了承载力和刚度。 气体静压导轨的气垫结构及节流形式 气浮导轨的气垫结构形式较多，见图4-40。图a～图f为方形气垫，图g～图j为圆形气垫。按进气孔数量分为单孔和多孔两种。单节流孔气垫结构简单，耗气量少，但角刚度差；多节流孔型则刚度较好，如图i为单排双沟槽气垫具有较大的角刚度和承载力，但耗气量大。 在气浮导轨中进行压力调节也是用节流器，但它形式简单，一般做成孔型，称为节流孔，它分为环流孔和简单节流孔两类，见图4-41。 环形节流孔一般取d≥O.1mm，而h0≤O.02mm，这种节流形式最简单，但承载能力较低；简单节流孔有一深为h′的气腔，其承载能力比环形节流孔式高30%，通常取h0≤O.02mm，d为0.1～O.2mm，h′≥d／4。 气浮导轨间隙h与刚度K刚 对于一个支承气垫或总的支承气垫，其刚度为 （4-33） 式中，W为承载能力；负号表示随着载荷的增加，间隙h在减小。 图4-40 气垫形式 图4-41 节流孔 a)环形节流孔 b)简单节流孔 若稳压后的压缩空气气压为Ps，气室气压为pr，大气压为p0，则定义表压比为 对于中央进气孔的单孔气垫，实验得出Kg与间隙h之间关系见图4-42。在 为0.69时刚度最大，对应的h*= 0.025mm。