太阳电池培训讲义-黎剑骑.pptx

;;RothRau PECVD;RothRau 镀膜设备;PECVD： Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (等离子增强化学气相沉积) 等离子体：气体在一定条件下受到高能激发，发生电离，部分外层电子 脱落原子核，形成电子、正离子和中性粒子混合物组成的一种形态， 这种形态就称为等离子态即第四态。等离子体从宏观来说也是电中性， 但是在局部可以为非电中性。; --- 是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在硅片上沉积出所期望的薄膜。 所用的活性气体为SiH4和NH3。这些气体经解离后反应，在硅片上长出氮化硅膜。可以根据改变硅烷对氨的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性 十分良好。;SiNx:H介绍: 正常的SiNx的Si/N之比为0.75，即Si3N4。但是PECVD沉积氮化硅的化学计量会随工艺不同而变化，Si/N变化的范围在0.75-2左右。除了Si和N，PECVD的氮化一般还包含一定比例的氢原子，即SixNyHz或SiNx:H.;Si3N4膜的认识;Si3N4膜颜色和厚度对照表;H钝化技术;镀膜工艺流程 ;镀膜工艺过程控制; 2. 微波功率、温度;镀膜异常与解决方法;镀膜现阶段改进状况;印痕明显变小;BACCINI丝网印刷;丝网印刷机整体瞰图;采用意大利;印刷软件参数控制含义;丝网印刷操作界面;25;印刷类型、偏移; Snap-off网版间距印刷时电池到网板的距离； ;;;;;; 通过印刷，在半导体上形成上下电极，将半导体中被内电场分离的电子、空穴经由电极收集输出到电池体外，形成电流。;利用丝网图形部分网孔透浆料，非图文部分网孔不透浆料的基本原理进行印刷。印刷时在丝网一端倒入浆料，用刮刀在丝网的浆料部位施加一定压力，同时朝丝网另一端移动。浆料在移动中被刮板从图形部分的网孔中挤压到基片上。印刷过程中刮板始终与丝网印版和承印物呈线接触，接触线随刮刀移动而移动，而丝网其它部分与承印物为脱离状态，保证了印刷尺寸精度和避免蹭脏承印物。当刮板刮过整个印刷区域后抬起，同时丝网也脱离基片，并通过回墨刀将浆料轻刮回初始位置，工作台返回到上料位置，至此为完整 的一个印刷行程。 ;丝网印刷功能构造;;; 膜厚;丝网张网角度;线径;吐出量（透墨量）;;;作用;;; 概念：是指浆料受外力作用变形后，能完全或部分保持其变形的性质。 浆料是处于半流体和固体之的浓稠悬浮胶体，所以既有流动性，又有可塑性。浆料的固体含量高可塑性高，反之则低。可塑性能保证印迹的精度。;;背电场浆料;正电极;丝网印刷条件;丝网印刷工艺流程图;;;;EF费米能级;○铝背场的作用 ●1.背铝作为背电场能够阻挡电子的移动，减小了表面的复合率，有利于载流子的吸收； ●2.减少光穿透硅片,增强对长波的吸收； ●3.Al吸杂，形成重掺杂，提高少子寿命； ●4.铝的导电性能良好，金属电阻小，而且铝的熔点相对其他的合适金属来说熔点低，有利于烧结。 ●5.在烧结时p-type的铝掺杂渗入形成使原本掺杂硼的p-type Si形成一层数微米厚的p+-type Si作为背场，以降低背表面复合速度来提高电池的开路电压Voc。 ●6.因为硅片吸收系数差，当厚度变薄时衬底对入射光的吸收减少，此时背场的存在对可以抵达硅片深度较深的长波长光吸收有帮助，所以短路电流密度Jsc的影响就更明显。 ●7.p和p+的能阶差也可以提升Voc，p+可以形成低电阻的欧姆接触所以填充因子FF也可改善。 ;;在电池片的正面（N型层）同时用银浆料印刷一排间隔均匀的栅线和两条电极。 搜集光生电流，提供电池片物理上的负电极。浆料:Ag浆。 设计理念： 提高电流的收集效率、低金属栅线电阻、低接触电阻、低遮光面积。 栅线高宽要求： 尽可能大的高宽比 意义： 减少由于栅线遮光造成的电 池功率失，同时较大栅线横截 面可以降低栅线的体电阻从而 降低由栅线电阻引起的功率损失。 ;60;61;62;63;丝网现阶段改进项目;丝网印刷注意事项;Despatch 烧结炉;烧结炉;Dspatch烧结炉结构图;Dspatch烧结炉流程图;Dspatch烧结炉控制界面;01;烧结炉工艺温度参数;烧结工艺形成过程;烧结工艺形成过程;烧结工艺形成过程;烧结后电池片成品;烧结曲线 分析;烧结炉常见问题及其解决办法;;Halm 测试;Halm测试设备介绍;该测试模式可用于一张电池片的多次测量。;Halm测试