测射镀膜机自控系统.pdf

维普资讯 21 溅射镀膜机 自控系统 核工业西南物理研究院 郑尚清 石玉贤 _f 摘 要：本文以通用计算机扣CQM1一CPU42一E和PCL一818数据采集卡，组成参数监测 与控制系统，使溅射镀膜机实现 自动化。 关键词：溅射镀膜 可编程序控制器 自动化操作 一 刖 置 电压、溅射 电流、工作气体流量、工作室真空 度、镀膜维持时间等，均有人为操作因素的影 在金属或非金属工件的表面，涂以另一种 响，使不同批次产品重复性差，质量难于保证， 金属、合金、金属化合物等材料的膜层，可以显 装置的优点也得不到充分发挥。正因为如此， 著改变该工件的表面结构、光学性质和机械强 采用电脑管理和控制镀膜机工作，已成为保证 度等特性，从而改变物体导电能力、防止材料 产品质量和降低生产成本的重要手段。 腐蚀、增强外观光亮度等，是当前工业处理的 一 我们采用一台通用计算机，一块研华 种重要方法。 PC卜818A／D卡和总计 80点 I／O的CQM1一 传统的化学镀膜—— 电镀，由于废液的排 CPu42—E模块式结构的可编程序控制器 ．构 放严重污染环境，正在被其它镀膜方法所替 成参数检测和控制系统，如图2。 代。溅射镀膜属等离子体高科技技术的应用领 域。和化学镀膜相比，溅射镀膜在真空环境中 PCL_-8l8A／D卡是一个高性能的数据采 集控制系统，它具有 16路单端 (或 8路双端) 进行，没有三废处理问题；和蒸发镀膜相比，它 模拟量输入，增益可编程控制，A／D转换分辨 有不受靶材料熔点限制，且镀膜沉积率高、膜 层均匀致密和附着力强等优点 尤其在导电 率为 12bit；有一通道的12bit模拟量输出；还有 16点数字量输入和 16点数字量输出。装置运 膜、光学膜、耐蚀膜和装饰膜等方面的应用，溅 行中，溅射电压、溅射电流、工作气体流量、真 射镀膜占有重要的地位 。 空度等模拟量都通过此数据采集卡，完成A／D 二 系统组成 转换，由计算机CPU进行分析处理。采用计算 由于使用的目的不同，溅射镀膜机装置各 机是为了加强对输入模拟量的分析处理能 式各样。图1是我院开发生产的双室旋转磁 力。 控溅射镀膜机)结构示意图。它用一套真空系 可编程序控制器具有小巧、紧凑、抗干扰 统，一套高压设备，两个镀膜工作室(一个工作 能力强等优点。用在现场操作输入输出开关量 时，另一个进行装卸工件的准备)，并具有容积 十分理想。如屏上输入开关、故障(缺水、缺相 大 (每个室 中85O×1500)，成本低，工效高，节 等)发生的继电器节点，以及PC提供的处理信 能和操作方便等诸多优点。 息