【2017年整理】E型电子束蒸发器.docVIP

E型电子束蒸发器（JYK-电子枪） 目????录 E型电子束蒸发源 一.概述 ?? 本蒸发源系坩埚由电机直接驱动、电子束偏转角为270o、用于蒸镀各种金属和非金属材料的磁偏转式E型电子束蒸发装置。 二、主要技术参数 1、电子束偏转角???? 270o 2、阳极电压???????? 10KV 3、阴极加热电源???? AC 3V+3V，60A可调 4、束流????????? ??直冷坩埚0～1A 5、坩埚容量（标准型） 6、磁场电源 ? X偏转电流??????????? ±2A可调 扫描频率??????????? 10～250HZ Y偏转电流??????????? ±2A可调 扫描频率??????????? 10～250HZ 7、启动真空度??????????? 6.7×10-3Pa 8、坩埚定位(四孔坩埚)???? 电控自动或手动点控 9、坩埚冷却水 进水温度???????????? ≤25℃ 进水压力????????? ???≥0.2MPa 水流量?????????????? ≥8L/min 10、电子枪体接地电阻?????? ≤4Ω ???????????????????????????三.结构说明 1.???? 电子枪 电子枪是产生电子束的部件,由直线状螺旋钨阴极、栅极和阳极组成。加速电压采用负高压，阴极和栅极处于相同的负电位，阳极接地电位。阴极由交流供电加热，使之发射电子，电子受栅极电位的影响，在阳极电压加速下形成会聚的电子束。在X方向磁场（左为S极、右为N极）的作用下，电子束得到进一步聚焦并偏转270o射入装有被镀膜料的坩埚中，其动能变成热能使材料蒸发沉积于基片上，达到所需膜层的要求。 2．X、Y偏转和扫描 ?? X、Y偏转线圈采用铝金结构。 ?? 改变X线圈电流大小，电子束可作前后移动；改变Y线圈电流大小，电子束可作左右移动。通过调整X、Y线圈电流大小，可使束斑射于膜料的所需位置上。通常使Y线圈偏转电流为零，调整X线圈电流，使束斑居于坩埚中心位置。 ?? 若再给X、Y线圈加上交变电流，则电子束可在膜料上作不同幅度（圆或其它形状）和频率的自动扫描。 3．冷却水 ?? 正常的冷却水是保证不损坏坩埚及密封胶圈等部件的关键，欲达到技术指标中的供水要求，请用户给电子束蒸发源单独供水，而不要由主机的供水管供水（参见图1）；并在工作中随时监视水流情况。未达到供水要求，严禁使电子枪工作。 4．坩埚的定位 ?? 坩埚由电机直接驱动，电机加电则转动，失电则停止。用户可选用手动点控或电控自动任一方式定位。 ? 手动点控是电机的加电、失电由手动控制，这种方式可使坩埚孔停在您需要的位置处，比较随意。 ? 电控自动系借转动轴上的碰块与四个分度90o的微动开关相互作用使坩埚停在规定的位置处。出厂前碰块与微动开关相对位置已调好，不许乱动。若出现坩埚孔穴与铜遮板孔错位时，可按照以下方法调整： a.???? 坩埚孔偏离遮板孔左侧（如图2）。发生这种情况是因为转轴上的碰块偏右而提前将微动开关接通所致，可将转轴上三个螺钉松开，将碰块微微向左转一点，再拧紧三个螺钉后通电试之，直至二孔对中为止。 b.???? 坩埚孔偏离遮板孔右侧（如图3）。这种情况与a情况相反，可按与a相反方法处理即可。 c.????? 四孔中仅一个孔不对中时，可仅调整与之对应的微动开关的进出量即可，即把固定微动开关的二个螺钉松开，将开关向内或向外调一点后,再拧紧螺钉即可。 ????????四、使用方法及注意事项?????????????????????? １．??供安装的组件 ?? ①．高压绝缘子组件????????????? ２件 ?? ②．水管接头???????????????????? １件 ?? ③．Ｘ、Ｙ偏转供电端子组件????? １件 ?? ④．坩埚主轴组件???????????????? １件 ??? 以上组件在真空室底板（厚22mm）上的安装孔为Ф33.5mm。 ２．??安装中的主要尺寸 ①．???? 坩埚主轴组件（如图４所示） 2. 导磁组件（如图５所示） ３．??电子枪打火及减少打火次数的措施 电子枪在蒸镀时，由于电子束中的电子与气体分子和蒸发材料的蒸汽发生碰撞产生的离子轰击带负电高压电极及其引线，即产生打火。另外，若这些带负高压电的部分有尘粒等杂物，会使该处电场集中也容易打火。故电子束蒸镀设备的高压电源都附有高压复位装置，在打火时自动切断高压，然后又自动恢复，切断与恢复的时间愈短，愈不会影响蒸镀工艺。 ?? 此外，为了减少打火次数，在安装和使用中应注意以下几点： ４．??束斑与功率 ?? 束斑的大小与阴极位于栅极孔中的位置密切相关，图６所示给出一般常用位置关系。H小则束流亦小，h大则束斑大束流亦大。 ?? 调整时应兼顾束流（不宜过大）、功率和蒸发速率，一般追求高的功