9半导体式传感器(《传感器基础》课件).pptVIP

第9章 半导体式传感器 ; ;9.1 半导体气敏传感器; ; 9.1.1 半导体气敏传感器的分类; ;9.1.2 电阻型半导体气敏传感器; ; ; ; ; ; ; ; ;第9章 半导体式传感器 ; 9.1.3 气敏传感器的应用; ; ;9.2 半导体湿敏传感器;9.2.1 概述; ; ; ; ;9.2.2 湿敏电阻的类型及原理; ; ; 2. 半导体陶瓷湿敏电阻 半导体陶瓷湿敏电阻是一种电阻型的传感器，根据微粒堆集体或多孔状陶瓷体的感湿材料吸附水分可使电导率改变这一原理检测湿度。; ;1) 烧结型湿敏电阻; ; ; ; 9.2.3 湿敏传感器的应用; ; ; ; ; ; ;9.3 半导体磁敏传感器;9.3.1 磁敏电阻器; ; ; ; ; ; ; ; ;3.磁敏电阻的应用;2) InSb磁敏无接触角度传感器;InSb磁敏无接触角度传感器工作原理图 ; ;9.3.2 霍耳式传感器; ; ; 2. 霍耳元件结构及测量电路; ; ; 2) 测量电路; 3.误差及其补偿;3.误差及其补偿; ; 不等位电势补偿电路,图(a)是在电阻值较大的桥臂上并联电阻，图(b)是在两相邻桥臂上并联电阻，以增加电极等效电桥的对称性。; 2) 温度误差及其补偿 霍耳元件是采用半导体材料制成的，因此它们的许多参数都具有较大的温度系数。当温度变化时，霍耳元