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光栅传感实验论文 制造学院 孟旭 学号 1143021351 电话邮箱：992163236@ 选课学期2012年春 摘要 光栅传感器的原理是莫尔条纹，用来测线位移和角位移。以它为基础的光纤光栅传感器具有抗磁性干扰，体积轻，尺寸小等优点而受到好评。 关键字 光栅传感器 莫尔条纹 光纤光栅传感器 一.引言 关于莫尔条纹现象的发现，可以追溯到 19 世纪的七十年代，英国物理学家 Rayleigh 于 1874 年第一次描述了两块光栅重叠后所形成的条纹。他在一篇题为“关于衍射光栅的制造和理论”的论文中写到“如果把每英寸具有同样数目的刻线的两个 ( 衍射光栅的 ) 照相复制品处于接触状态，使两个光栅中的刻线几乎平行则就会产生一组平行的条纹，其方向将两个光栅刻线之间的外角二等分，而其距离随着倾角的减小而增大”。在这之后，曾有过许多企图利用条纹运动作为测量目的的尝试。 1887 年 Righi 第一次指出了这一现象用于测量的可能。 Giambiasi 在 1922 年取得了一项采用目测条纹的测径规的专利。随着时间的推移，莫尔条纹测量技术现已经广泛应用于多种工程计量测试中，为微位移的测量，做出了重大的贡献。 二．实验原理 1.莫尔条纹现象 两只光栅以很小的交角相向叠合时,在相干或非相干光的照明下，在叠合面上将出现明暗相间的条纹，称为莫尔条纹。莫尔条纹现象是光栅传感器的理论基础，它可以用粗光栅或细光栅形成。栅距远大于波长的光栅叫粗光栅，栅距接近波长的光栅叫细光栅。 1.1 直线光栅 两只光栅常数相同的光栅，其刻划面相向叠合并且使两者栅线有很小的交角θ,则由于挡光效应（刻线密度=50/mm）或光的衍射作用（刻线密度=100/mm），在与光栅刻线大致垂直的方向上形成明暗相间的条纹，如图1 图1 直线光栅莫尔条纹 设主光栅与指示光栅之间的夹角为θ，主光栅光栅常数为，指示光栅光栅常数为，相邻莫尔条纹之间的距离为w。为了求叠合后的莫尔条纹方程，先建立直角坐标系及相应的光栅方程。取光栅常数为的光栅的任一栅线为y轴，与其垂直的方向为x轴。令n与m分别为两光栅的栅线序数，两光栅的栅线方程分别为： （1） （2） 然后求两光栅栅线交点的轨迹，交点轨迹是由栅线的某一列序数（n，m）给定。一般情况下，交点连线由（n,m=n+k）序列给定，其中k是整数。今以m=n+k，代入（2），解得莫尔条纹方程的一般表达式为： （3） 上式为一直线方程簇，每一个k对应一条条纹。由上式得到条纹的斜率为： （4） 则莫尔条纹间距w为式（3）中相邻两个k值所代表的两直线之间的距离，其一般表达式为： （5） 当时，由（5）可得： （6） 由上式可知，当改变光栅夹角θ，莫尔条纹宽度w也将随之改变。 若主光栅沿与刻线垂直方向移动一个栅距d，莫尔条纹移动一个条纹间距w。因此，莫尔条纹可以将很小的光栅位移同步放大为莫尔条纹的位移。当得到莫尔条纹相对移动的个数N 就可以得到光栅相对移动的位移x为： 线性莫尔条纹有如下主要特性： 条纹的移动与光栅的相对运动方向相对应 在保持两光栅交角一定的情况下，使一个光栅固定，另一个光栅沿栅线的垂直方向运动，则莫尔条纹将沿栅线方向移动。若光栅反向运动，则莫尔条纹的移动方向也相应反向。 位移放大作用 当两光栅交角很小时，相当于把栅距d放大了1/倍。当时,称为光闸莫尔条纹。 同步性 光栅运动一个栅距d，莫尔条纹相应移动一个条纹间距。 1.2 径向圆光栅 径向圆光栅是指大量在空间均匀分布都指向圆心的刻线形成的光栅。图2是两只节距角相同（即）的径向光栅相向叠合产生的莫尔条纹。 设两块径向辐射光栅，光栅中心为与，节距角相同。建立坐标系，以 为x轴，以中心o为原点，节距角值由x轴起算，计算径向莫尔条纹方程的过程与计算直线莫尔条纹方程的过程相似。光栅的栅线方程为： （7） 光栅的栅线方程为： （8） 对光栅考虑栅线序号（n+k），k为大于0的任意有理数，则可将式（7）式改为： （9） 由（8）（9）两式，可求的莫尔条纹方程： （10） 因此，莫尔条纹有如下特点： （1）莫尔条纹为一组不同半径的圆方程，圆心位