寄生式时栅安装误差对传感器测量精度的影响.pdfVIP

第24卷第2期 光学精密工程 V01．24No．2 andPrecision 201 Optics Engineering Feb．2016 6年2月 文章编号 1004—924X(2016)02—0319-08 寄生式时栅安装误差对传感器测量精度的影响 杨洪涛¨，章刘沙1，周 姣1，费业泰2，彭东林3 (1．安徽理工大学机械工程学院，安徽淮南232001； 2．合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥230009； 3．重庆理工大学电子信息与自动化学院重庆400054) 摘要：为了提高寄生式时栅行波信号的质量和传感器的测角精度，研究了离散式测头安装误差对传感器测角精度的影 响。介绍了寄生式时栅的结构组成和工作原理，建立了三维仿真模型，应用AnsoftMaxwell仿真软件对测头与转子不 同间隙、测头的俯仰角和偏摆角大小变化对传感器测角精度的影响进行了仿真实验分析，同时应用84对级的寄生式时 栅搭建实验平台进行了实际实验验证。仿真和实验结果显示：安装误差中的间隙、俯仰角、测头的偏摆角等因素变化对 传感器测量精度均有影响。间隙变化对测量精度的影响具有规律，可通过建模进行修正。实验所用的84对级的寄生式 时栅最佳安装间隙大小为0．2mm。俯仰角、偏摆角的变化对测量精度的影响规律变化较复杂，故文中建立了相应的误 差补偿模型。本文的研究结果可用于指导传感器的结构优化设计、测头的安装和误差精确补偿，进而提高传感器的测角 精度。 关键词：寄生式时栅；时栅传感器；测角精度；安装误差；Anso[tmaxwell；实验验证 中图分类号：TP212．12；TH712文献标识码：A doi：10．3788／OPE0319 Effectofinsta¨ationerrorof time onsensor parasiticgrating measuringaccuracy YANG Liu—shal， Hong—taoH，ZHANG ZHOUia01，FEIYe—tai2，PENG J Dong—lin3 (1．SchoolMechanical of Engineering，AnhuiUniversityof and Science 232001，China； Technology，Huainan 2．SchoolInstrumentationScienceand of Opto—electronicsEngineering， 230009，China； HefeiUniversityofTechnology，Hefei and 3．SchoolElectronic Automation， of Information Universityof 400054，China) Chongqing Technology，Chongqing