能动反射镜低频像差补偿能力分析.pdfVIP

　第 16 卷 　第 7 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 16 ,No. 7 　 　2004 年 7 月 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Jul. ,2004 　 ( ) 文章编号 2004 能动反射镜低频像差补偿能力分析 杨李成 , 　凌 　宁 , 　曾志革 ( 中国科学院 光电技术研究所, 四川 成都 610209) 　　摘 　要 : 　采用 Algor 软件包并利用有限元法对 37 单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算 ,确 定了镜面厚度 8mm ,驱动器间距 46mm ,极头直径 12mm 等能动反射镜制造的关键参数。通过计算机仿真分析 λ 证明 ,基于这些参数所设计的能动反射镜可以对低频误差进行有效校正 ,校正精度的均方根值小于等于 / 8 , 从而可以为能动反射镜的制造提供理论依据。 　　关键词 : 　能动反射镜 ; 　低频误差 ; 　有限元法 ; 　补偿 ; 　影响函数 　　中图分类号 : 　TH741 　　　　文献标识码 : 　A 　　在大型地基望远镜和许多航天探测器的光学系统中 ,往往要求主镜具有较大的直径和质量 ,但是随着光学 元件口径的增大 ,主镜的制造加工难度也将会有较大的增加。由于光学材料的非均匀性、弹性变形、温差引起 的形变等因素的影响 ,使得大型光学系统的制造和使用都受到了很大的限制。为使主镜具有较高的面形精度 , 且在加工及安装以后 ,温度和重力等因素对镜子精度的影响减小到最低 , 目前, 国外已越来越多地采用能动薄 ( ) 镜技术。国内外许多研究机构已进行了大量的研究工作 ,并取得了许多重要成果 ,例如欧洲南方天文台 ESO ( ) [1～5 ] 的NTT ,美国的哈勃望远镜 ,美国航空航天局 NASA 的NGST 等 。 　　在设计能动反射镜时需要考虑系统的特点和限制条件、材料性能和工艺、元器件的分析设计、镜子的装配 和调试等问题 ,确定所要求的系统结构 ,选定合适的镜面材料和合适的驱动器。所以根据系统的具体要求为能 动反射镜选取合理的设计参数就显得尤为重要。在设计之前 ,利用 Algor 和 Ansys 等有限元仿真软件 ,模拟计 算所设计变形反射镜的拟合波前误差的能力、承受的最大应力等 ,确定基本物理参数 ,取得可靠的理论依据。 1 　能动反射镜波前误差补偿原理 　　能动反射镜的工作特性是由置于其背面的驱动器工作时形成的影响函数决定的 。影响函数是指仅当单个 驱动器对镜面加力使之产生单位变形时 ,其它驱动器仅由内在弹力带动引起的镜面变形 ,它是由驱动器间距、 镜面刚度、驱动器极头几何形状等因数所共同决定的。相邻驱动器位置上的镜面位移相对变化称为驱动器的