【2017年整理】ITO薄膜.docxVIP

实习（调研）报告一、 ITO薄膜的性能氧化铟锡（ITO）薄膜是一种重参杂、高简并n型半导体氧化物薄膜，由于其具有低电阻率、抗擦伤、良好的化学稳定等优点[9]，已经广泛应用于平板显示器、太阳能电池、汽车挡风玻璃以及电子屏蔽等诸多领域。是按照质量比为的比例为In2O3：SnO2=9:1的比例,在氧化铟中掺杂氧化锡,并采用一定的热处理工艺得到的一种超细粉体材料。该材料是一种型宽禁带半导体, 禁带宽度Eg=3.5eV, 禁带宽度值对应的波数为2.8×104cm-1,波长为365nm,已经在紫外线的范围内。用其制作的薄膜仃膜对可见光的透过率超过90%,对紫外线的吸收率大于85%,对红外线反射率大于70%。其晶体结构属于立方铁锰矿结构【1】。二、 ITO薄膜的应用IT O 薄膜具有优良的光电性能,对可见光的透过率达95%以上,对红外光的反射率70%,对紫外线的吸收率≥85%,对微波的衰减率≥85%,导电性和加工性能极好,硬度高且耐磨耐蚀,因而在工业上应用广泛,在高技术领域中起着重要作用。主要用途有:2. 1　用于平面显示ITO薄膜的透明导电性及其良好的电极加工性能,所以它作为液晶显示器用的透明电极获得高速发展,约占功能膜的50%以上,例如液晶显示(LCD)、电致发光显示( ELD)、电致彩电显示(ECD)等。目前,在各类显示器中,LCD的产值仅次于显像管(CRT)。随着液晶显示器件的大面积化、高等级化和彩色化,LCD将超过CRT 成为显示器件中的主流产品。因而ITO 薄膜主要用于高清晰度的大型彩电、计算器、计算机显示器、液晶和电子发光屏幕等。2. 2　用于交通工具风挡ITO 薄膜能除雾防霜,是一种典型的透明表面发热体,可以用作汽车、火车、电车、飞机等交通工具的风挡,用于陈列窗、溜冰眼镜、双引自行战车及医疗喉镜。还可以用作烹调用加热板的发热体,也可以用于炉门、冷冻食品的显示器及低压钠灯等。2. 3　用于太阳能方面ITO 薄膜用于异质结SIS太阳能电池顶部氧化物层,可以得到高的能量转换效率,例如ITO/SiO2/P-Si太阳能电池可以产生13%～16%的转换效率。ITO玻璃还可以用于Si太阳能电池的反射涂层以及用于异质结型A-Si基太阳能电池的透明电极。具有电致变色(EC)的灵巧窗的典型结构是在普通白玻璃上沉积多层膜,其内外层为ITO膜。研究表明,EC玻璃可使建筑物内暖气、冷气和照明等能耗减少50%以上。2. 4　用于微波屏蔽和防护镜ITO 薄膜有良好的微波屏蔽作用,能防静电,可用于屏蔽电磁波的地方,如计算机房、雷达的屏蔽保护区,甚至可用于防雷达隐形飞机上。茶色ITO薄膜是铟、锡氧化物的新品种,它能防紫外线和红外线,滤去对人体有害的紫外波段,因此镀IT O膜的玻璃镜片可作特殊防护镜。【2】三、 ITO薄膜的主要制备方法ITO导电薄膜是用物理的或化学的方法在基体表面上沉积得到。基体材料一般采用玻璃，如采用低温溅射工艺制备这种薄膜，基体也可以采用塑料等聚合物材料。基体的热膨胀系数对膜的性质有较大的影响，所以选择基体时应考虑基体和莫的热膨胀系数的匹配问题【3】1.1　磁控溅射法磁控溅射法是利用惰性气体离子轰击靶材(一般为高密度的铟锡氧化物靶材) ,轰击下来的原子沉积到衬底上形成薄膜。关于这方面的研究论文很多[11~16]磁控溅射法采用的靶材有IT靶和ITO靶两种。IT靶存在一系列缺点,例如由于放电后滞现象而难于控制溅射过程、膜的重复性差、膜电阻对溅射过程中氧分压的波动过分敏感,溅射得到的膜需要再进行热处理等。而TO靶正好能克服IT靶的上述缺点。因此磁控溅射法中ITO靶材逐渐代替IT靶材而成为靶材的主流。但ITO 靶材亦存在一些问题,例如沉降速率低、靶材表面严重飞弧、溅射过程中靶材表面很容易结瘤,而进一步降低溅射速率、靶材制作技术难度大、成本高,且回收比较困难等。实践证明,在基片温度低和溅射速率高时可以获得质量较好的氧化物薄膜。M.Libra等[17]用IT靶(成分 90% In+10%Sn,尺寸127×336mm)在Ar+O2气氛中于玻璃基体(尺寸200×200m m)上沉积薄膜,靶材距基体表面距离52mm,沉积温度680K,溅射膜经热处理后变成ITO薄膜。1.2　化学气相沉积( CVD) 法CVD法首先是将铟、锡的有机盐气化,然后在N2或Ar的载气气氛中与O2,H2O或H2O2等反应而得到ITO薄膜。T oshir o M ar uy am a[18]等用CVD法制备出优良的ITO薄膜。所用原料为二乙基己酸铟( In( C7H 15COO ) 3)和四氯化锡( SnCl4?x H2O, x = 4～5)。二乙基己酸铟置于温度为280℃的容器内,四氯化锡保持在320℃的容器内,它们的蒸气作为反应气体由N2载体引入反应室内。基体材料为硼硅玻璃板