超精密加工预案.pptVIP

“ ” “ ” 超精密加工 .简介 .技术指标 .分类 .涉及的技术领域 .加工方法 .现状 .发展的意义 简介 20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术的需要而发展起来的精度极高的加工技术。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他先进技术。工件材质必须极为细致均匀，并经适当处理以消除内部残余应力,保证高度的尺寸稳定性,防止加工后发生变形。加工设备要有极高的运动精度，导轨直线性和主轴回转精度要达到0.1微米级,微量进给和定位精度要达到0.01微米级。对环境条件要求严格，须保持恒温、恒湿和空气洁净，并采取有效的防振措施。加工系统的系统误差和随机误差都应控制在 0.1微米级或更小。这些条件是靠综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统和计算机控制等各种先进技术获得的。 技术指标 零件的尺寸精度为0.1~0.01μm 加工表面粗糙度为Ra0.03~ 0.0051μm 分类 超精密切削加工： 主要有超精密车削、镜面磨削和研磨等。在超精密车床上用经过精细研磨的单晶金刚石车刀进行微量车削,切削厚度仅1微米左右，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、表面高度光洁的零件。 超精密特种加工： 将电、磁、声、光、热等物理能量 及化学能量或其组合乃至与机械能结合直接施加在被加 工的部位上，从而使材料被去除、 工的部位上，从而使材料被去除、变形及改变性能等的 非传统超精密加工方法。 非传统超精密加工方法。 涉及的技术领域 1.加工原理与加工机理 一般加工时，“工作母机”的精度总是要比被加工零件的精度高，这一规律称为 “母性”原则。对于超精密加工，由于被加工零件的精度要求很高，用更高精度的“工作母机”来加工有时已不可能，这时可以利用精度低于工件精度要求的机床设备，借助于工艺手段和特殊工具来加工，这是创造性加工原则，而且是一种直接式创造性原则。 2.被加工材料 超精密加工的被加工材料，在化学成份、物理机械性能和制造工艺上都有严格的要求，应质地均匀、性能一致、稳定，无外部及内部微观缺陷。 3.加工工具 对于有色金属等软材料的超精密加工，一般采用金刚石刀具，天然金刚石有较好的切削性能，但价格昂贵；用人造聚晶金刚石进行超精密切削时，其加工质量不如天然金刚石，因此，目前大多数采用天然金刚石进行超精密切削。  4.加工设备及基础零部件 超精密加工所用的加工设备主要是指超精密切削机床、各种研磨机和抛光机等。 超精密加工所用的加工设备应具有以下要求： 1）高精度 2）高刚度 3）高稳定性 4）高度自动化 5.工件的定位及夹紧 1）可采用过定位结构以提高工件的刚度。 2）工件的无变形安装。 3）尽量减少装夹次数 4）可采用以加工表面自身来定位的方法得到均匀的加工余量，保证微量去除。 6.检测及误差补偿 要进行加工零件的精度和表面粗糙度的检验，要测量加工设备的精度和基础零部件的精度。 7.工作环境 超精密加工的工作环境主要有温度、湿度、洁净和隔振等方面的要求，保证一定条件的工作环境是必要的，它和加工效果有密切关系。(恒温、恒湿、净化) 8.人的技艺 超精密加工的加工质量在一定程度上靠操作工人的技艺来保证。 超精密加工的方法 超精密加工方法分为三个部分： （1）超精密切削加工 （2）超精密磨削、研磨和抛光 （3）超精密微细加工 现状 超精密加工技术在国际上处于领先地位的国家是美国、英国和日本。美国是开展超精密加工技术研究最早的国家，也是迄今处于领先地位的国家。英国的克兰菲尔德精密工程研究所享有较高声誉，是当今世界上精密工程的研究中心之一。日本的超精密加工技术的研究相对于英美来说起步较晚，但它是当今世界上超精密加工技术发展最快的国家。尤其在用于声、光、图像、办公设备中的小型、超小型电子和光学零件的超精密加工技术方面，甚至超过了美国。我国在80年代中期出现了具有世界水平的超精密机床和部件。但总的来说，与国外产品比还有很大的差距。 超精密加工发展的意义 1 、超精密加工是国家制造工业水平的重要标志之一 超精密加工所能达到的精度、表面粗糙度、加工尺寸范围和几何形状是一个国家制造技术水平的重要标志之一。 金刚石微粉砂轮超精密磨削在日本已用于生产，使制造水平有了大幅度提高，突出地解决了超精密磨削磨料加工效率低的问题。 2、超精密加工是先进制造技术的基础和关键 3 国防工业上的需求 陀螺仪的加工涉及多项超精密加工，导弹系统的陀螺仪质量直接影响其命中率 4信息产品中的需求 计算机上的芯片