具有高灵敏度微机械压阻式加速度传感器：设计和建模.ppt

A micromachined piezoresistive accelerometer with high sensitivity:design and modelling 具有高灵敏度微机械压阻式加速度传感器：设计和建模 1. Introduction 2. The design of a new accelerometer 3. A simplified analytical model 4. Finite element model and results 5. Conclusion 1.介绍 在许多领域，如汽车行业，航空航天行业，军工行业，机器人系统和医疗仪器等，低成本和高分辨率的惯性传感器，如加速度计和陀螺仪，要求在不断增加。如果能够通过更换传统硅微传感器来降低成本，市场年会大很多。低成本和高分辨率的惯性力传感器的市场是非常大的。图1给出了加速度计的成本，性能和尺寸的发展趋势。 Fig. 1. Costs, performance, sizes and applications of accelerometers. 在这项研究中，对一种具有高灵敏度和高固有振动频率的新型的微机械压阻式加速度传感器进行设计和建模。与电容和隧道加速度计相比，压阻式加速度计具有简单结构和读出电路，但他们的灵敏度没有电容和隧道加速度计高。可以通过使用高的应变系数材料，来提高压阻式传感器灵敏度。通过新的创新设计来提高压阻式传感器的灵敏度。在这项研究中提出的新的压阻式加速度计设计利用了一种新型的桥梁结构，其灵敏度比常见的悬臂梁设计高出近两个数量级。 2.设计一个新的加速计 弯曲变形的结构原件有低应变/位移比例，而轴向变形的结构元件有高的应变/位移比例。将这两种类型的结构元件的优点结合起来，以获得高的应变/位移比，同时具有高的绝对应变值，从而，实现了高灵敏度。如图2所示,本设计中使用一桥状结构，以提高传感器的灵敏度。 当基片变形时，在感测元件上产生一个放大集中的应变力。图3示出了该加速度计的实际设计。图3b给出了设计的3D模型。从图中可以看出， 这种设计的特点是将弯曲元件和轴向元件组合。这个桥结构可以增加加速度计约两个数量级的灵敏度，而不会牺牲固有振动频率。 3．一个简化的分析模型 为了理解该加速度计的机械性能，创建一个简化的弹性模型，如图5所示，进行了理论分析。 4.有限元模型和结果 为了验证上述简化的分析模型的准确性和评价所设计的微加速度计的性能，进行有限元分析。对两种不同的配置进行了有限元分析和分析模型。从分析模型和有限元所获得的结果进行比较。这两个例子中的配置基本上是一致的，只是其轴向元件具有不同的横截面面积。由于在两种情况下，轴向元件的横截面面积的差异，键合元件的长度也必须被调整，以达到理想的轴向元件的的纯轴向变形模式。 图6显示出加速度和轴向应变的轴向元件之间的关系。从图中可以观察到简化的分析模型可以准确地描述加速度计的机械行为。而且也可以发现，轴向元件横截面面积较小的加速度计灵敏度较高。第一个例子中，由于横截面积较小，故可以实现更高的灵敏度。 如果键合元件可以获得最佳的长度，则轴向元件就可以有一个更可取的变形模式。 图8显示出了对不同的键合元件长度值，轴向元件的形变的比较 。图8的曲线图的灰度表示在垂直方向上的法向应变。正如由曲线图所示，在例1和例3的轴向元件变形的应变分布比其他两个均匀得多。例1和例3通过使用简化的分析模型计算出键合元件长度的最优值，再次证明了分析模型的实用性和准确性。 5.结论 本文主要介绍了具有高灵敏度和高固有振动频率的微机械压阻式加速度传感器设计和建模。建立一个简化的分析模型描述加速度计的机械行为。也进行了有限元建模 验证的分析模型，评价微加速度计的性能。从建模得到的结果，显示出这种新的设计在提高加速度计的灵敏度方面有很好的潜力。键合元件的长度是一个重要的设计参数将影响轴向元件的变形模式。分析模型能够准确地确定键合元件长度的最佳值。