太赫兹速调管——一种新型的微加工电真空器件论文.pdfVIP

2005年12月 第十三届全国电子束·离子束·光子束学术年会 湖南·长沙 太赫兹速调管 种新型的微加工电真空器件 王勇 (中国科学院电子学研究所。北京toooao) 摘要：人们早就认识到，如果将现有的速调管(一种微波电真空器件)缩尺到微米量级，就可以产 生太赫兹(THz)辐射。然而．由于传统加工技术的限制，无法制造出微米量级的谐振腔和微型的能发射 极高电流密度的阴极，而使THz速凋管的研究一直停滞不前。近年来，随着微加工技术的发展，上述两 个技术瓶颈已相继得到解决，此项研究又重新被人们所重视，并发展成了一个很热门的研究课题。本 文详细地介绍了这种新型的微加工电真空器件——1Hz速凋管的工作原理、THz速调管谐振腔和场致 发射碳纳米管冷阴极的微加工方法等。 关键词：THz速调管；工作原理；微加工技术；碳纳米管冷阴极 一、引言 THz频率在电磁波谱中位于红外和毫米波之间(如图1所示)．频率范围0．I—IOTHz，波长范围 30／zm一3mm。虽然在大约一百年前，人们就已观察到了THz辐射，但由于种种原因，长期以来这段电磁 波谱很少有人探索。近十年来，随着THz功率源的飞速发展和它在材料科学、宽带通信、光谱学、天文 学和生物学等领域的潜在应用，THz技术及THz功率源正愈来愈受到人们的关注。 图1．THz在电磁波谱中的位置 Slate 要产生THz辐射，必须要有THz功率源。目前的THz功率源主要有[1】：固态振荡器(S0lid Cascade Tttz Dri,Fen Oscilatlons)、量子级联激光器(QuantumLasers)、激光驱动THz发射器(Laser ElectronBased Emitters)和自由电子源(Free Sources)等。然而，这些器件均存在一些无法克服的缺 点。例如，固态振荡器的输出功率随频率升高而急剧下降(在400GHz时它的输出功率为0．1～lmW的 量级，而当频率进一步提高时输出功率将随频率f的1／f3下降)；量子级联激光器虽然在TI-Iz频率下 能达到mW级以上的功率输出，但它必须要在极低温度(几十K)和极高磁场(一lT)下才能工作；激光 驱动THz发射器是目前最常用的脉冲Tttz功率源，可它产生的输出功率太低(在数纳瓦到几百微瓦之 Wave 间)；以返波振荡器(Backward 输出，但它要求的工作电压很高(1—10kV)和工作磁场很强(～1T)。 ． —4lO— 2005年12月 第十三届全囤电子束·毒子束·光子束学术年套 湖南·长沙 THz速调管是一种新型的THz功率源。它不仅能产生mw级的功率输出，而且工作电压低(通常 只有几十至几百伏)和不需要磁场。由于集众多优点于一身，目前它已成为硼乇领域的一个很热门的 研究课题，以美国为代表的技术先进国家，正在投人大量的人力物力对其进行研究。本文重点介绍 THz速调管的工作原理、THz速调管喈振腔和场致发射冷阴极的微加工方法等。 二、THz速调管的工作原理 如图2所示，下Hz速调管由高发射电流密度冷阴极、高频谐振腔、群聚栅、反射腔、输出波导和传 输耦合机构等组成。为了使该类速调管能稳定地工作，一个能发射极高电流密度的阴极是绝对必要 的。 图2．THz速调管示意图 THz速调管的工作原理类似于传统的反射速调管(ReflexKlystron)。阴极产生的电子穿过谐振腔 的一对群聚金属栅后，直接进入反射腔，此时，电子进入了一个漂移区。由于