表格6：大陆厂区设备安全LEVEL-2安全验收查核表解析.docVIP

一、查核基本信息： 設備/制程名稱 廠商名稱 機臺所在棟別/樓層/區域 供應制程物質名稱 二、查核人員簽名： 設備負責廠商 查核日期 設備工程師 設備主管 廠務工程師 廠務主管 環安工程師 環安主管 三、查核項目： (A).一般事項 檢查項目 類別 Owner/ Auditor 查核結果 所有穿樓地板開孔均已做好防火填塞？ B GE/ESH 機台是否均已標示機台編號? 支援設備是否標示所支援機台之名稱? B EQ 3. 所有相關管路須每隔3公尺加設標示,且於轉彎點及穿牆前加管路標示且標示清楚。B GE EQ/ESH 4. 非HPM之管路於使用前是否經過飽壓或測漏測試確認管路無洩漏? B GE EQ/ESH (B). 機台之消防設備 □ NA 檢查項目 類別 Owner/ Auditor 查核結果 1. 是否完成設備CO2自動滅火系統初驗流程(送氣、送液前確認【設備CO2自動滅火系統初驗查核表】) A EQ/ESH 2. 機台供應化學物質之所有管路須使用非可燃材質，并需提供材質證明 A GE EQ/ESH (C).安全相關之連鎖裝置 檢查項目 類別 Owner/ Auditor 查核結果 1.是否提供下述安全連鎖項目? A EQ/ESH 溫度 A EQ/ESH 火警偵測 (e.g. 過熱,UV偵測器) A EQ/ESH 機械手臂 (IR偵測器) A EQ/ESH 電氣設備 (e.g.高電壓,門盤) A EQ/ESH 2.所有安全連鎖裝置是否已通過測試並已正常運作？ A EQ/ESH (D).送氣、送液需於現場備妥PPE 個人防護裝備-責任單位：EQ(工程單位): Hands 手部 Face 臉部 Body 身體部 Respiratory 呼吸系統 Other 其他 Acid Gloves□ 防酸用手套 Safety Glasses□ 安全眼鏡 Apron□ 圍裙 Respirator□ 呼吸面罩 SCBA □ 自攜式空氣呼吸器 Safety Shoes□ 安全鞋 Solvent Gloves□ 溶劑用手套 Goggles□ 護目鏡 Suit□ 防護衣 Cartridge □ 濾毒罐 Hoses□ 軟管 Electrical Gloves etc□ 絕緣手套 等 Thermal Gloves□ 隔熱手套 Face Shield□ 護臉面罩 Tyvek (Arsenic) □ 泰維克(砷) Breathing Air system □ 空氣呼吸系統 Hard hat□ 安全帽 Chemistry divulging processing vehicle□ 化學洩漏處理車 (E).通風、排氣：(可事先查核) 檢查項目 類別 Owner/ Auditor 查核結果 1. 抽風排氣管路之類別及流向已標示？ (每隔三公尺須有標示) A GE/ESH 2. 易燃性化學品供應櫃是否接有排氣系統並維持供應櫃負壓? A EQ/ESH (F).化學廢液、廢棄物質處置 □ NA 類別 管線材質 試漏完成 管線標示 處置方式 檢查項目 類別 Owner/ Auditor 查核結果 1. 在試車期間所產生之廢棄物是否有適當的處置? (如使其不易再反應, DI水沖洗等) A EQ (G).製程化學品供應 (酸、鹼、溶劑等特化物質): □ NA 使用化學品全名及濃度 溫度 清洗槽/反應槽容量(l) 貯存槽容量(l) 每日使用量(l) 檢查項目 類別 Owner/ Auditor 查核結果 1. 設備機台內洩漏偵漏器功能是否正常? A EQ/ESH 2. 溫度偵測器功能是否正常？作動時是否將機台置於安全狀態? A EQ/ESH 3. 以下設施是否設有二次防漏設施(防漏盤 or 防溢堤)？ A EQ/ESH a. 維修及操作區域? EQ b. 化學處理清洗槽? A EQ c. 化學貯存及分裝槽? A EQ 4. 排放廢液管線連接是否正確且有標示? 相關閥門是否打開? A GE EQ/ESH 2. 所有相關管路須每隔3m加標示,且於轉彎點及穿牆前加管路標示且標示清楚