第27学单元表面处理新技术4--离子注入技术.docVIP

第 27 教学单元 课 题：表面处理新技术4—离子注入技术 教学目标 知识目标 掌握离子注入技术的原理及特点 了解离子注入的应用情况 能力目标 熟悉离子注入技术 职业素质目标 爱岗敬业 诚实守信 技能过硬 自主创新 教学重点 离子注入技术的原理及特点 教学难点 辅助教学手段 采用实物、标本、模型、图表、幻灯和录像等手段 教学准备 准备教学目标、准备学生情况、准备教学材料、准备教学心理、准备教学过程、准备教学评价 授课班级 授课日期 月 日 月 日 月 日 月 日 月 日 教 学 进 程 教学方法及时间分配 复习提问：电子束表面处理技术的原理及特点？ 以一种激光表面处理技术为载体，采用任务教学法、案例教学法、引导文教学法、现场教学法，通过教师讲解、示范，引导学生学习。 4学时 导 言： 新课内容: 离子注入的原理和特点 离子注入原理 在真空中将注入元素电离，利用电场加速作用使它们形成具有数万至数百万电子伏特的离子束流，并入射到工件基体材料中去，离子束与基体表面中的的原子核或电子多次碰撞，能量逐渐被消耗，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、结构和性能发生变化，这一过程称离子注入。 离子注入技术可以注入各种离子，改变材料表层成分，优化材料表面性能，甚至使工件获得某些新的优异性能，而且是一种纯净的无公害的表面处理技术。 近30年来离子注入技术在国际上得到了蓬勃发展和广泛应用。 离子注入特点 注入离子完全渗进基体表面层，本身无明显界面，不存在镀层与界面剥离问题。 无需热激活，无需在高温环境下进行（室温或200℃以下），因而不会改变工件的外形尺寸和表面光洁度；也不会出现由于加热所引起的表面回火软化效应。 通过对离子能量和数量的控制可以改变注入的深度与浓度。 注入元素可任意选择，它可注入从原子量为1的氢到原子量200以上的全部元素，主要注入元素有N、Cr、P、B、C、S等。； 离子注入后无需再进行机械加工和热处理。 从目前的技术水平看，离子注入技术还存在一定局限性，如注入层太薄（1μm）；离子只能直线行进，对于复杂的或有内孔的零件不能进行离子注入；设备造价高，所以应用还不广泛。 离子注入装置 离子注入的装置称为离子注入机。 离子注入机按离子注入对象可分为半导体注入机和金属离子注入机；按离子束的能量可分为为中束流注入机、强束流注入机和高能注入机三种；还可分为质量分析注入机、氮离子注入机和等离子源注入机。 美国Eaton和Varian是世界上最大的离子注入机制造公司，其次是日本。 离子注入机是由于半导体材料的掺杂需要而于20世纪60年代问世，早期研究离子注入是用重离子加速器来进行的。目前离子注入机出现了多种形式，但就基本工作原理和结构来说是相同的。 离子注入机的主要指标是离子束能量、束流的强度和均匀性。离子注入的深度主要取决于离子束能量，通常在20～400KeV之间，注入的效率主要由束流强度决定；注入元素剂量的均匀性和重复性也是衡量离子注入机的重要指标。 离子注入的应用 离子注入的应用主要是半导体的渗杂和金属材料的表面处理。此外，离子注入在改进陶瓷表面韧性与摩擦性方面也已显示出一定的能力；离子注入还可以引起高分子聚合物的交联、降解、石墨化等，从而改善其强度或光学特性。 离子注入技术已广泛地用于宇航尖端零件、重要化工零件、医学矫形件以及模具、刀具和磁头的表面改性。我国已对多种模具、刃具、人工关节、金刚石拉丝模及磁头等做了离子注入方面的研究，航天、航空和核工程用的精密轴承也相继进行了离子注入研究，有的已取得了重要成果。 离子注入可以向金属表面注入金属或气体元素，提高工件表面硬度、耐磨性、耐蚀性、抗疲劳性和抗高温氧化性；同时还可以降低摩擦系数，改善摩擦性能。向GCr15轴承钢表面注入N+ 至3×1017N+/cm2时，显微硬度达到HV1100，耐磨性能提高3～5倍。我国生产的各类冲模和压制模一般寿命为2000～5000次，而英、美、日本的同类产品采用离子注入技术后，寿命达50000次以上。 国外生产的电冰箱、洗衣机等的活塞门，材料基本与我国的相同，甚至是普通低碳钢，由于采用了所谓“专利性处理工艺，使用寿命是我国同类产品的几倍到几十倍。有的钢铁材料经离子注入后耐磨性可提高100倍以上。用作人工关节的钛合金Ti-6A1-4V耐磨性差，用离子注入N+后，耐磨性提高1000倍，生物性能也得到改善。铝、不锈钢中注入He+，铜中注入B+、He+、Al+和Cr+离子，金属或合金耐大气腐蚀性明显提高，其机理是离子注入的金属表面上形成了注人元素的饱和层，阻止金属表面吸附其他气体，从而提高金属耐大气腐蚀性能。 不同金属注入不同离子后对性能的影响： 基体材料 改善的性能 注入的离子 基体材料 改善的性能 注入的离子 低合金钢 耐蚀性 C