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等离子体直流辉光放电 实验设计方案 1）实验目的 1、了解等离子体的性质 2采用langmuir双探针测量等离子体参数 2）实验原理 1 、等离子体参数 a:等离子体密度：单位体积内（一般以立方厘米为单位）某带电粒子的数目。ni 表示离子浓度，ne 表示电子密度。 b:等离子体温度：对于平衡态等离子体（高温等离子体）温度是各种粒子热运动的平均量度；对于非平衡态等离子体（低温等离子体），由于电子、离子可以达到各自的平衡态，故要用双温模型予以描述。一般用Ti表示离子温度，Te表示电子温度。 c:等离子体频率：表示等离子体对电中性破坏的反应快慢，是等离子体震荡这种集体效应的频率。 粒子震荡频率： 电子震荡频率： d:德拜长度：等离子体内电荷被屏蔽的半径，表示等离子体内能保持的最小尺度。当电荷正负电荷置于等离子体内部时就会在其周围形成一个异号电荷的“鞘层”。 德拜长度 ： 2、等离子体参数的静电探针诊断原理 ?? 图8、等离子体探针原理 ? ? ? ? ? 　 图9、单探针法 ? ? 图10、双探针法 假设： (1)、被测空间是电中性的等离子体空间，电子密度ne和离子浓度ni 相等，电子与离子的速度满足麦克斯韦速度分布；? (2)、探针周围形成的空间电荷鞘层厚度比探针面积的线度小，这样可忽略边缘效应，近似认为鞘层和探针的面积相等；? (3)、电子和正离子的平均自由程比鞘层厚度大，这样可忽略鞘层中粒子碰撞引起的弹性散射、粒子激发和电离；? (4)、探针材料与气体不发生化学反应；? (5)、探针表面没有热电子和次级电子的发射。 则：对于插入等离子体的单探针有： 随机电流：，???? 根据玻耳兹曼定理： 电子密度 ??????????? ?式中：Vp为探针电位，Vs为等离子体电位 所以：探针电流 而对于插入等离子体的双探针有： 设探针的面积分别为A1,A2；电位为 V1,V2；电压V=V1-V2≥0。 流过探针1，2的离子和电子电流分别为：i1+， i1-，i2+，i2-。 对双探针整体为悬浮的故： 则从2流入1的电流为： ， ?所以： 故： 由此可知：电子温度：-------------------------(1) 等离子体密度：-------------------------(2) 注： 实验内容及具体步骤： 1、 在电极距离一定的情况下，采用Langmuir双探针测量三组探针I-V变化数据，其中前两组为直流功率一定，不同气体，后两组为气压一定，不同功率。将所得数据添入表1。 2 、绘制出I-V曲线。由曲线斜率根据上述公式计算出电子温度和等离子体密度。 3 、根据计算结果，分别分析功率和气压对等离子体参数的影响及影响机理。 实验步骤 A 、按照实验内容的要求，讨论和制定最优的实验测量方案。 B、根据实验原理图将双探针与电流表和电压表串联。联接好实验线路。 C、插上总电源线，接通总电源开关。打开总电源。 D、关闭进气气源流量计旋钮，打开隔膜阀，并依次打开冷却水开关，真空泵电源开关，抽取本底真空，真空泵工作约5分钟后接通电阻真空计电源，测量放电管内真空。 E、调节气源流量至适当值，同时通过调节隔膜阀和微调阀流量，将气压 稳定在所需工作气压P，将工作选择打到辉光放电测量，缓慢调节高压，调节电压到所需功率。 F、打开探针电压，缓慢调节电压，根据电流值大小，改变电流测量量程， 并依次记录下V— I关系数据。 G、将探针电压调为零，并关闭探针电压，将探针电源输出线反过来与探 针电流表和探针电压表串联 H、重复上述过程依次记录I-V关系数据 在其它直流功率和气压下重复上述过程。 实验仪器及其具体参数 仪器结构及说明? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 结构说明：仪器采用的是一体化设计，顶部是放电管及水冷部分，高压加在放电管两端，外面采用聚四氟乙烯绝缘材料绝缘防止漏电，冷却水通过两端的循环水冷套对放电管进行冷却，放电管内附两组钨丝，可利用等离子体诊断技术测定等离子体的一些基本参量。测量及控制部分均布置在中部的操作面板上，真空系统安装在机箱的内部。 操作面板配置说明 DH2005辉光等离子体实验装置操作面板图 各操作部件名称： ?? 1、总电源开关?????????????????????? 2、冷却水电源开关 ?? 3、真空泵电源开关?????????????????? 4、电阻真空计开关 ?? 5、高压电源开关???????????????????? 6、探针电源 ?? 7、高压调节旋钮???????????????????? 8、高真空微调阀 ?? 9、隔膜阀调节旋钮?????????????????? 10、工作选择开关 ?? 11、电流量程选择开关??????????? ????12、探针电压调节