磁流变抛光技术_张峰.pdfVIP

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2017-06-16 发布于浙江
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磁流变抛光技术_张峰.pdf

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磁流变抛光技术_张峰

7　 5 　 V ol . 7, N o. 5 1999 10 O PT ICS AND PRECISION EN GIN EERIN G October, 1999 　 1004-924 ( 1999) 05-0001-0 X 张　峰　　余景池　　张学军　　王权陡 ( 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验　　长春 130022) 　　 20, 、、, ,。　　　　　　 T Q 171. 6 4　　　 A 1　　　　　 ,,,。 ,。 0,, 。 19 4, . . [ 1] Y Tain K Kaw ata 。 1。 N、 S( 0. 1T)。 (, 4μm, 40% )( 10 ～ 15nm) 。。 ,, 2μm /min。 [2] 10。 19 7, . Y Satio 。 ,, 。 * ( 6960 006) : 1999- 06- 07 : 1999- 07- 02 2　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 7 Fig. 1　 Polishing of acrylic plates w ith SiC abrasives in a magnetic fluid composed of 15nm diameter magnetic particles. The pole pieces serve as the reference lapping surface for the workpiece. [ 3] 　　 19 9, Suzuki 。。 ,, ,。 50mm。 30min, 15nm 1nm( 1. 7nm rms) , 0. 4μm 0. 3μm。 R ,。 1993, 40mm Pyrex , [4 ] 2～ 4 / , 。 μm h [ 5] 1994“” 。 “” ,,“”,。 ,“”,。。 [6] “” 。。 ,,“”。, “”,。。 ,,, ,。 5　　　　　　　　　　　　　: 　　　　　　　　　　　 3 2　　　, 。 “” , [7 ] 。 ,, 。 ,,。 [ ～ 10] ,。 “” 。 ,,,, 。, ,, ,。 ,