离子注入掺铒硅发光中心光致发光研究.PDFVIP

离子注入掺铒硅发光中心光致发光研究.PDF

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  19 5                    Vol. 19, No . 5   1998 5              , 1998  CHIN ESE JOURNAL OF SEM ICONDU CTO RS May 雷红兵 杨沁清 王启明 (   10008 ) 周必忠  肖方方 (   61005) 吴名枋 (  100871)  , 5 1. 5 6μm、 1. 554μm、 1. 570μm、 1. 598μm 1. 640μm, 1. 5 6μm ., + T Er . Er O、 N、 C d Er-O、 Er-N Er-C , PL 1. 570μm、 1. 5 6μm 1. 608 . μm : 7855, 6170 , 7170 PACC T 1  ,( O EICs) , [ 1] 、, . , ( 1. 54μm).. [2] 198 , Ennen LED LD . + + 4 4 1. 54 ,. - 1 /2 - 15/2 Er μm Er I I ,. 4 , f .,. Er Si,, Er O、N、C [2] , . PL O、N、C Er .  , 1970,,: 1997-0 -21, 1997-05-19 5      :           2  ( 100) ,,, 1 - 2 : 00keV , 5× 10 cm . Er , 650℃ , 900℃. ,, 、 、 、 2 Er O N CO , N. Er 75~ 14 15 - 2 15 95keV , 10 ~ 10 cm ; O 20keV, 8× 10 - 2 15 16 - 2 cm ; N 16~ 2keV , 10 ~ 10 cm ; CO2 15 - 2 55keV , 5× 10 cm ; N ( 2 / 2. 5 )× 29. CV D Si nm SiN nm ( 10 ), +

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