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原子力显微镜 立式AFM ( Hansma等, 1988 ) AFM的三种扫描成像模式 AFM轻敲扫描针尖振荡示意图 石墨H位上的两种电荷密度分布 4. 试件表面廓形高低起伏不平对测量结果的影响 不同ω/ω0比值时的微悬臂振幅 存在F 双压电晶片驱动微悬臂的振动 振动的试件驱动微悬臂振动 振动试件驱动时的振动 力梯度F’使微悬臂的共振产生变化 力调制技术检测试件表面硬度变化 云母AFM图像 AFM图像-积层电路 AFM图像-材料缺陷 6) 粘晶须针尖的微悬臂 晶须 气体源 1μm a) 晶须 b) 晶须生长 GaAs晶须及其沉积生长过程 V形微悬臂上用环氧树脂粘ZnO晶须针尖 7) 碳纳米管针尖的微悬臂 a) 硅针尖加碳纳米管 b)局部放大 c)尖端放大 AFM的碳纳米管探针尖(H.Dai) 3. 微悬臂的力学性能分析 1) 对微悬臂的力学性能要求 要求它能高灵敏度地检测出在针尖上的作用力，并将此作用力转化成能测量的微悬臂形变或位置偏移。 为使针尖扫描时能随迅速变化起伏的试件表面廓形上下，微悬臂必须有足够高的自振频率。 2) 矩形薄片微悬臂的力学计算 l F Δzl 悬臂梁自由端最大挠度Δz1 悬臂