某电子厂房洁净空调加湿方式的选择.pdfVIP

引用:千级洁净棚 /qianjijiejingpeng/ 超薄FFU风机过滤单元/ffufengji/ 层流送风天花/songfengtianhua/ 2008年6月 洁净与空调技术CC＆AC 第2期 某电子厂房洁净空调加湿方式的选择 世源科技工程有限公司 阎 冬 摘 要 以某电子厂房净化空调设计加湿方式的选择为例，分析了三种加湿方案的选择过程及使用条件 确定本工程最佳加湿方案。 关键词 加湿方式；淋水室；高压喷雾加湿；电热加湿；蒸汽加湿 TheSelectionofHumidificationModeinAirConditioningofanElectronic Cleanroom nDong AbstractTheselectionproceduresandoperationconditionsofthreehumidificationmodeswereanalysed，based onanelectroniccleanroom application，inordertodeterm inetheoptimi zedmodeforhtecleanroom ． KeywordsHumidificationmode；Watersprayingroom；Pressurizedsprayinghumidification；Electricheating humi dification；Steam humi dification 水室加湿为等焓加湿，在加湿过程中不仅可以清洁 1 概述 新风，部分去除新风中的灰尘；还可以使新风中的 现代化的工业生产对空气湿度 的重视程度 日益 一 部分化学物质溶解于水，降低新风中的化学物质 提高，要求也越来越高，对于电子芯片厂房，如果 的含量 。淋水室全年运行，冬季用于加湿、清洁新 湿度不能满足要求，将会静 电增高，使产品的成品 风 ，夏季则起到清洁新风的作用。淋水室的缺点是 率下降、芯片受损，严重影响企业生产。 占用空间大，在新风处理机组中最小长度为 1．9m； 本工程为集成电路产品的生产项 目，洁净区平 与空气直接接触，易受污染变脏 ，需要定期排污。新 面为岛型布置，操作区洁净度为4，5级，由于生产 风处理机组由初效过滤器、中效过滤器、一级加热 工艺的要求，对温、湿度 的要求很高：温度 21℃± 盘管、一级冷却盘管 (使用 12℃～16℃中温冷冻 0．5℃，相对湿度 40％±3％；设备区洁净度为 5． 水)、淋水室、二级冷却盘管 (使用0℃～5℃低温温 5级，无特定温、湿度要求 。净化空调系统采用 冷冻水)、送风机、二级加热盘管、高效过滤器组成 。 风机过滤单元 (FFU)+干表冷器+新风处理机组 新风处理机组的组段方式见图 1。 的型式。操作区为送风区，设备区为回风区 。冷 淋水室加湿方式，根据工程经验准确控制的精 源分为两种：低温冷冻水 (0℃～5oC)，中温冷冻