不同衬底温度对ZnO 薄膜结构和光学性质的影响 - 哈尔滨理工大学学报.PDFVIP

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2017-06-15 发布于天津
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不同衬底温度对ZnO 薄膜结构和光学性质的影响 - 哈尔滨理工大学学报

19 1 Vol. 19 No. 1 第卷第期哈尔滨理工大学学报 2014 2 JOUＲNAL OF HAＲBIN UNIVEＲSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY Feb． 2014 年月不同衬底温度对ZnO 薄膜结构和光学性质的影响贾，，，，，，相华黄海亮付斯年朱瑞华左桂鸿曹洪忠李月英 ( ， 157001) 牡丹江师范学院黑龙江省新型碳基功能与超硬材料重点实验室黑龙江牡丹江 : ZnO ． X 摘要利用磁控溅射在玻璃基片上制备了不同衬底温度下的薄膜借助射线衍射仪 ( XＲD) 、、 ( PL) ZnO 、吸收光谱光致发光谱等手段研究了衬底温度对薄膜的微结构光致发光性能的影响．结果表明: 所有样品均呈现 ZnO 六角纤锌矿结构且具有高度 c 轴择优取向; ZnO 薄膜在可， ; 见区的吸收系数很小在紫外区有很高的吸收系数室温下的荧光光谱显示薄膜具有较强的紫光发射．关键词:ZnO 薄膜; 衬底温度; 光致发光谱中图分类号:TN304 文献标志码:A 文章编号:1007－ 2683 (2014)01－ 0108－ 04 Effect of Substrate Temperature on Crystalline Characteristics and Optical Properties of ZnO Thin Films JIA Xiang-hua ， HUANG Hai-liang ， FU Si-nian ， ZHU Ｒui-hua ， ZUO Gui-hong ， CAO Hong-zhong ， LI Yue-ying (Mudanjiang Normal College ，Heilongjiang Province of Carbon-based Function and Superhard Materials Laboratory ，Mudanjiang 157011 ，China) Abstract :ZnO thin films were deposited on glass substrates under different substrate temperatures by rf reac- tive sputtering． We have studied the influence of growth temperature on microstructural ，photoluminescence proper- ties of ZnO thin films of by X-ray diffraction (XＲD) ，absor