基于微谐振器的高精度温度测量系统.PDF

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN 104180919 A (10)申请公布号 CN 104180919 A (43)申请公布日 2014.12.03 (21)申请号 201410396177.8 (22)申请日 2014.08.12 (71)申请人 南京理工大学 地址 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫 200 号 (72)发明人 施芹 汤卫丰 夏国明 裘安萍 苏岩 丁衡高 (74)专利代理机构 南京理工大学专利中心 32203 代理人 朱显国 (51)Int.Cl. G01K 7/32 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 权利要求书2 页 说明书5 页 附图3 页 (54)发明名称 基于微谐振器的高精度温度测量系统 (57)摘要 本发明提供了一种基于微谐振器的高精度温 度测量系统，包括微谐振器、驱动电路、测频电路 和温度标定电路，微谐振器由双端固支音叉、平板 电容和基底组成，驱动电路与微谐振器形成闭环 回路，保证微谐振器产生稳定的振荡信号，测频电 路测量随温度变化的信号频率，并通过温度标定 电路，转化为当前环境温度值；本发明的微谐振 器中，双端固支音叉采用平板电容驱动，灵敏度 高，线性度好，具有非常高的测量精度。 A A 9 9 1 1 9 9 0 0 8 8 1 1 4 4 0 0 1 1 N N C C CN 104180919 A 权 利 要 求 书 1/2 页 1. 一种基于微谐振器的高精度温度测量系统，其特征在于，包括微谐振器 [200]、驱动 电路[300]、测频电路[400]和温度标定电路[500]，其中驱动电路[300]与微谐振器[200] 构成闭环回路，驱动电路 [300] 的输出端与测频电路[400] 的输入端相连，测频电路[400] 的输出端与温度标定电路 [500] 的输入端相连；所述微谐振器 [200]包括双端固支音叉 [202]、平板电容和基底 [210]，其中双端固支音叉 [202]和平板电容设置在基底 [210]上； 所述驱动电路 [300]驱动微谐振器 [200]使其稳定工作在固有频率点处，驱动电路 [300] 输出的微谐振器驱动交流信号 [314]为驱动微谐振器 [200]工作的交流信号，驱动电路 [300]输出的直流偏置电压[315]为驱动微谐振器[200]工作的直流偏置电压信号，从而驱 动电路 [300]驱动微谐振器 [200] 自激振荡，稳定输出微谐振器检测电流信号[310]，微谐 振器检测电流信号 [310]为驱动电路 [300] 的输入信号；驱动电路[300]将微谐振器检测 电流信号[310]转化为检测电压信号[311]，测频电路[400]对检测电压信号 [311]进行频 率测量后输出频率锁定电压[411]，温度标定电路[500]将测频电路[400]输出的频率锁定 电压[411]转化为环境温度值。 2. 根据权利要求1 所述的基于微谐振器的高精度温度测量系统，其特征在于，所述微 谐振器 [200] 中的平板电容包括第一平板电容、第二平板电容、第三平板电容、第四平板电 容、第五平板电容和第六平板电容，其中第一平板电容、第二平板电容、第三平板电容和第 四平板电容为驱动平板电容，第五平板电容和第六平板电容为检测平板电容，第一固定极 板 [203a]与第一活动极板 [204a]组成第一平板电容，第二固定极板 [203b]与第二活动 极板 [204b]组成第二平板电容，第三固定极板