基于犘犱／犁犻荦犠狊／狆 犁犻结构的高灵敏常温 ... - 华东师范大学.PDF

第 期 华东师范大学学报（自然科学版） ６ Ｎｏ．６ 　 　 年 月 （ ） ２０１５ １１ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＥａｓｔＣｈｉｎａＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅ Ｎｏｖ．２０１５ ｙ 文章编号： （ ） １０００５６４１２０１５０６００８１０９ 基于 ／ ／ 结构的高灵敏 犘犱犛犻犖犠狊 犛犻 狆 常温氢气传感器 朱李斯， 杨 婷， 张 健 　 　 　 　 （华东师范大学 电子工程系，上海 ２００２４１） 　 摘要：采用无电镀 的方法，在硅纳米线上制备了一层 首次制备出了能够在室温下工作 Ｐｄ Ｐｄ． 的 ／ 肖特基氢气传感器 （ ）（扫描电子显微镜）表征 ＰｄＳｉＮＷｓ ．ＳＥＭ Ｓｃａｎｎｉｎ ＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏ ｇ ｐｙ 结果表明，硅纳米线表面 层是由 纳米颗粒组成 ／ 肖特基二极管 测试结果 Ｐｄ Ｐｄ ．ＰｄＳｉＮＷｓ 犐犞 表明，该传感器可以在室温下进行氢气（ ）浓度的检测，且可检测的浓度范围很大，同时给出 Ｈ２ 了 ／ ／ 肖特基二极管在常温下进行检测 的敏感机理 实验表明，这种新型传感 ＰｄＳｉＮＷｓ Ｓｉ Ｈ ． ｐ ２ 器可以在室温下进行 Ｈ２ 检测，且具有很大的发展潜力，可以应用于燃料电池等诸多领域． 关键词：氢气检测； 室温； 无电镀； 钯硅纳米线阵列； 恒电位计时电流 　 　 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＮ３１ Ａ 犇犗犐１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ．１０００５６４１．２０１５．０６．０１１ 　　 　　 ｊ 犎犻犺狊犲狀狊犻狋犻狏犲狉狅狅犿狋犲犿 犲狉犪狋狌狉犲犺犱狉狅犲狀狊犲狀狊狅狉犫犪狊犲犱狅狀 犵 狆 狔 犵 ／ ／ 犘犱犛犻犖犠狊 犛犻狊狋