硅在HF溶液中阳极溶解的研究-影像科学与光化学.PDFVIP

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2017-06-15 发布于天津
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硅在HF溶液中阳极溶解的研究-影像科学与光化学

15 1 Vol. 15 , N o. 1 1997 2 PHOT OG RAPHIC SCIENCE A ND PHOT O CHEM IST RY Feb . , 1997 研究简报 HF * * * 尹峰李学萍肖绪瑞 ( , , 100 10 1 多孔硅, 电流- 电压特性, 电容- 电压特性 [ 1, 2] U hlir T urner 50 , HF , , [ 3] . 1990 Canham , [ 4] , . , . , , . [ 5] , H F . , ( 111 H F - ( I- V - ( C- V , . 1 ( 111 . p , n . : p+ : 10- 3 8 cm, p- : 5~ 15 8cm, n+ : 10- 3 8 cm, n- : 2. 4 8cm. In- Ga . , , . 40% HF . - ECO MODEL 551 DCD- 1 L Z 3- 204 X- Y , - PAR- 27 3 / 5301 A . . 2 H F I- V H F . 1 ( p- p+ n- n+ 1% HF I- V . , I- V , n , p I- V 1996 6 12 , 1996 9 2 . * * * 80 1 : HF