一种基于DVD读取头的非接触触发探头.pdfVIP

‘ 第35卷 第1期 量 学 报 Vo1．35，No 1 2014年 1月 ACTA METR0LOGICA SINICA January，2014 doi：10．3969／j．issn．1000-1158．2014．01．07 一 种基于 DVD读取头的非接触触发探头 高 伟， 陈晓怀， 李瑞君， 程真英 (合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽 合肥 230009) 摘要：提出了一种基于 DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头，该探头由商用DVD读取头改装而成，已经 完成其设计与制作 。实验结果表明探头分辨率优于2nm，测量重复性可达2Onm，目前已应用于纳米三坐标测 量机上 。 关键词：计量学；DVD光学读取头；非接触探头；纳米三坐标测量机 中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编号：1000—1158(2014)01-0030-04 A Non-—contactTriggerProbeBasedonDVD Pick--upHead GAOWei， CHENXiao—hum， LIRui—jun， CHENGZhen-ying (SchoolofInstrumentScienceandOpto-electricEngineering，HefeiUniversityofTechnology， Hefei，Anhui230009，China) Abstract：A non—contacttriggerprobebasedonthecommercialDVD pick—upheadispresented．Thefocussensorand themechanism havebeendesignedandmanufactured．Experimentalresultsshowthatoftheresolutionofnon—contacttrigger probeisbetterthan2nm nadtherepeatabilityreaches加 nm．Thenon—contacttriggerprobecanbeusedonamicro／nano CMM ． Keywords：Metrology；DVD opticalpickuphead；Non—contactprobe ；Nano—CMM 1 引 言 2 DVD激光读取头聚焦原理 近年来微纳米三坐标测量机整机及其接触式探 DVD激光头组件中的激光二极管为读取头提 头技术得到了快速发展，许多国家和地区的研究机 供稳定的测量用激光光源；光学组件包括穿透式光 构都公布了自行研制的三坐标触发探头，如德 国联 栅、分光镜、1／4波片、聚焦物镜、光电传感器等。光 邦物理技术研究院(PTB)¨J、英国国家物理实验 电传感器将光信号转换为电信号，由光电传感器输 室 (NPL) ，4j、荷 兰 Eindhoven大学 J、台湾 大 出的电压信号的强弱可以判断出入射光的光强 学 、合肥工业大学 等 。 度 。所使用的DVD激光头的内部传感器 由4片 我们采用 日立公司的DVD读取头 HOP一1000 面积相同且光电形式相同的光