TCO镀膜玻璃品质控制标准.docVIP

TCO镀膜玻璃品质控制标准 范围 基板玻璃为超白玻璃，玻璃透射率要求91％－92％ 要求 TCO镀膜玻璃各项性能要求（表1） 1 TCO膜层厚度 1000nm±5% 台阶测试仪 2 光谱透射率 ≥81% (400-1000nm) 光谱透射测量仪 3 方块电阻 ≤10Ω/□ 四探针电阻测量仪 4 雾度 10-30% 光谱雾度测量仪 5 耐磨性 试验前后可见光透射比平均值的差值的绝对值不应大于4%并且膜层不能有明显的变化， 6 耐酸性 试验前后可见光透射比平均值的差值的绝对值不应大于4%并且膜层不能有明显的变化， 7 耐碱性 试验前后可见光透射比平均值的差值的绝对值不应大于4%;并且膜层不能有明显的变化， 光谱透射测量仪 8 膜层的附着力 使用3M No.610胶带拉向面的直角方向，30sce后取下胶带，观察膜表面，无膜层脱落现象。 3M No.610胶带 粘着力：N/cm 3.92 9 膜厚均匀性 ≤5% 台阶测量仪 10 方块电阻均匀性 ≤7% 四探针电阻测量仪 11 透过率均匀性 ≤1% 光谱透射测量仪 注：超出此规定的其他要求由供需双方协商决定 TCO璃外观检查质量要求（表2） TCO镀膜玻璃原片的外观质量应该符合GB/T 18915.2中规定的对镀膜玻璃的要求。 表2 TCO镀膜玻璃的观质量 缺陷名称 说明 优等品 合格品 针孔 直径0.8mm 不允许集中 不允许集中 0.8mm直径1.2mm 中部:3.0×S,个，且任意两针孔之间的距离大于300mm. 75 mm边部:不允许集中 不允许集中 1.2mm直径1.6mm 中部:不允许 75mm边部,3.0×S个 中部:3.O×S，个 75mm边部:8.O×S， 1.6mm直径2.5mm 不允许 中部:2.O×S，个 75mm边部:5.O×S，个 直径2.0mm 不允许 不允许 斑点 1.0mm直径2.5mm 中部:不允许 75mm边部:2.O×S，个 2.5mm直径5.0mm 不允许 中部1.O×S，个 75mm边部:4.O×S，个 直径5.0mm 不允许 不允许 斑纹 目视可见 不允许 不允许 暗道 目视可见 不允许 不允许 膜面划伤 0.1mm≤宽度≤0.3mm 长度≤6mm 不允许 不限，划伤间距不得小于100mm 宽度＞0.3mm或 长度＞6mm 不允许 不允许 玻璃面划伤 宽度≤0.5mm 长度≤6mm 不允许 3.0×S ，条 宽度＞0.5mm或 长度＞6mm 不允许 不允许 注1:针孔集中是指在Ф100 mm面积内超过20个 注2:S是以平方米为单位的玻璃板面积，保留小数点后两位; 注3:允许个数及允许条数为各系数与S相乘所得的数值.按GB/T 8170修约至整数; 注4:玻璃板的中部是指距玻璃板边缘75 mm以内的区域，其他部分为边部。 注5：此表所列举的外观检查项目均由在线检查机完成、部分检查可增加人工抽检复 查；除本表格中所包含的其他外观缺陷的判定标准以供需双方最终商讨结果为准 离线检验方法判定标准： -- 常规膜厚：TCO膜厚：1000nm±5%；其他特殊膜厚标准依照客户要求。 -- 膜厚均匀性： D≤5% 计算公式：（Xmax 代表膜厚最大值；Xmin代表膜厚最小值） 抽检频率 生产初期每班测试一次；测试点数为25点测试法。 使用工具： 台阶测试仪；咖啡色胶带；烧杯；搅动棒； 测试材料及方法 蚀刻溶液配制，溶液配比比例：HNO3:HCl:H2O=1:4:1000；蚀刻时溶液温度要求控制在25±1℃之内； 在TCO蚀刻前及蚀刻后分别采取在线生产的正常玻璃基板，按照附件1图示，在标示点附近区域用玻璃刀取25块样品并按图示顺序进行编号（分两组样品，蚀刻前与蚀刻后）。 将取下的测试条用咖啡色胶带（要求胶带不留胶且耐腐蚀）贴于测试片镀膜面的中间位置，如图示： 图1测试片制作示意图 然后将此测试片放入盛有蚀刻液的烧杯中，用玻璃棒搅拌直至未被胶带覆盖区域的膜层完全蚀刻干净（可在洗净后用40倍的显微镜观察是否已蚀刻干净）。 4）取出测试片，用去离子水洗净，取下胶带，将玻璃片用无尘纸擦干。 5) 用台阶测试仪进行膜厚测量。考虑到测量的准确性，对每片玻璃取4个点进行测量，之后取平均值作为该片玻璃的膜厚测量值。 图2 透过率测试点示意图 按编号顺序使用台式分光光度计测量波长在400-1000nm范围内时的透过率，每块样品测试4个不同点取其平均值。 对测量的数据进行统计并计算出蚀刻前后的透过率差值及均匀性，由测试人员给出验证报告。 膜的初期面电阻值 判定标准： 蚀刻完后的面电阻值≤10Ω/□ 抽检频率