透镜聚焦原.docVIP

１．电磁透镜的聚焦原理 透射电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成像的装置是电磁透镜。电磁透镜实质是一个通电的短线圈，它能造成一种轴对称的分布磁场。正电荷在磁场中运动时，受到磁场的作用力，即洛仑磁力。 对正电荷在磁场中运动时受到磁场的作用力为： 式中，q-运动正电荷 ????? v-正电荷运动速度 ?? ???b-正电荷所在位置磁感应强度，与磁场强度h的关系：b = ?h f力的方向垂直于电荷运动速度和磁感应强度所决定的平面，按矢量叉积v?b的右手法则来确定。 对电子而言，其带负电荷，f方向由b?v决定，其运动方式有如下几种情形： ?????? v//b，fe = 0, 电子在磁场中不受磁场力，运动速度大小和方向不变； ?????? v┴b，fe = fmax，电子在与磁场垂直的平面内作匀速圆周运动； ?????? v与b成θ角，电子在磁场内作螺旋运动； ?????? 在轴对称的磁场中，电子在磁场内作螺旋近轴运动。 电磁透镜实质是一个通电的短线圈，它能造成一种轴对称的不均匀分布磁场。电磁透镜的聚焦原理如图所示。 （a）磁力线上任一点的磁感应强度b可分解为平行于透镜主轴的分量bz和垂直于透镜主轴的分量br； （b）电子所受的切向力ft和径向力fr; （c）电子作圆锥螺旋近轴运动； （d）电子束通过磁透镜的聚焦示意图； （e）光学玻璃凸透镜对平行于轴线入射的平行光的聚焦原理示意图。 2．电磁透镜的结构 简单说，电磁透镜实质是一个通电的短线圈，它能造成一种轴对称的分布磁场。 实际上的电磁透镜要求磁场集中，在结构设计上必须考虑。 1) 带有软磁铁壳的磁透镜 如图2所示，导线外围的磁力线都在铁壳中通过，由于在铁壳内侧开一环状狭缝，从而可以减小磁场的广延度，使大量磁力线集中在狭缝附近的狭小区域，增强磁场强度。其磁场的等磁位面的形状类似于光学透镜的形状。 2)????? 带有极靴的磁透镜 为了进一步缩小磁场的轴向宽度，在环状间隙两边加上一对顶端呈圆锥状的极靴，其目的就是将电磁线圈的磁场在轴向的广延度降低，可达到3mm范围。其结构如图所示 。 极靴由高导磁材料制成。 裸线圈、带铁壳和极靴后透镜磁感应强度分布见图（c） 3．电磁透镜的光学性质 1）电磁透镜物距、像距和焦距三者间的关系与光学玻璃透镜相似，满足 u - 物距；v - 像距；f - 焦距 放大倍数m 2）电磁透镜的焦距可用下式近似计算 r—透镜半径；a—与透镜结构有关的比例常数；v0—电子加速电压 3）电磁透镜具有磁转角 因为电子束在电子透镜磁场中的运动是圆锥螺旋近轴运动。 1.2 电磁透镜的分辨率 已知光学衍射确定的分辩率为 ?(n=1.5, α=70-75°) 但实际电镜的分辨率远远达不到上述指标，为什么呢？ 这是因为电磁透镜存在着像差.