国产溅射离子泵主要性能测试及现状.pdfVIP

维普资讯 第 41卷第 6期 真 空 VACUUM Vo1．41．NO．6 2004年 l1月 Nov．2004 国产溅射离子泵主要性能测试及现状 赵飞云 ，殷立新 ，殷 明 ，周洪军 ，王 勇 ，王秋平 (1．中国科学技术大学国家同步辐射实验室，安徽 合肥 230029； 2．国家上海同步辐射中心(筹)，上海 201800) 摘 要：在相同的条件下使用同一套测试装置，按照国家机械行业标准JB／T2965--92的要求。对国内几个主 要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离子泵进行性能测试，列出并分析测试结果。使大家对国产溅射离子 泵 目前的状况有所认识，同时期待国内真空泵厂能够与时俱进，进一步改进和提高溅射离子泵性能以满足国 内科技发展的需要。 关键词：溅射离子泵；性能测试 中图分类号：TB752．52 文献标识码：B 文章编号：1002—0322(2004)06—0024—04 TestingforbasicperformanceofdomesticSIPsandtheirconditions ZHAOFei—yun，YINLi—xin。，YIN Ming，ZHOU Hong—jun，WANGYong，WANGQiu—ping (1．NSRL，UniversityofScienceandTechnologyof China，H 230029，China； 2．ShanghaiNational SynchrotronRadiationCenter，Shanghai201800，China) Abstract：Usingthesameexperimentalsetupunderthesameconditionandaccordingtothenationalmeasurementstandard JB／T2965--92，thebasicperformanceparametersofdomesticSIPsaretested，withrelevantconclusionsdrawnandanalysed． Keywords：sputterionpump(SIP)；performancetesting 国家同步辐射实验室 (NSRL)的HLS光源是 家的研究需要。为此需要五十多台SIP来满足工程 一 台大型的超高真空装置，从电子枪经直线加速器、 需求。 输运线、储存环、各光束线 (包括二期工程新建的在 1 SIP性能测试的必要性 内)至各相应实验站，总长度超过 300m，其 中储存 环和光束线的静态真空要求好于 6．7×1O瑁Pa，动态 目前，国内SIP生产单位主要有中科院沈阳科 工作真空好于2．0Xi0～Pa，如此细长且真空度要求 学仪器研制中心、上海真空泵厂和中科院北京科学 又高的系统给真空获得和测量带来不少困难 鉴于 仪器研制中心等几家，其中北京和上海的两厂家过 溅射离子泵 (SputterIonPump，简称 SIP)具有极限 去曾为NSRL和 BEPC生产过大批量的溅射离子 压强低、工作压强宽、对惰性气体抽速大、无油无噪 泵。虽然近几年国内真空行业发展比较快，但是就溅 声等优点，同时SIP还具有离子流和泵内的压力成 射离子泵方面而言，由于国内市场需求起伏不定，用 正 比的特性 ，因此若用 SIP来辅助监测像加速器这 量也很有限，同时各厂家投入的科研经费和技术力 种细长真空系统 内的压力，不仅可以增加监测点，有 量不足，缺乏改革创新的动力，从而导致国产SIP的 利于监察真空系统的运行状态，同时还可以减少进 性能多年来未有多大的改进，有的厂家仅仅勉强维 口超高真空规管和真空计的数量，节约