具有光纤自定位保持结构的2#215;2扭转微镜光开关阵列的制作和机电特性.pdfVIP

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2017-06-17 发布于北京
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具有光纤自定位保持结构的2#215;2扭转微镜光开关阵列的制作和机电特性.pdf

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第卷第期半导体学报 23 10 Vol . 23, No . 10 年月 . , 2002 2002 10 C~INESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS Oct ================================================================= Fabrication and Electromechanical Characteristics of 2 2 - Torsion Mirror optical switch Arrays with Monolithically % Integrated Fiber self -Holding structures 1 1 2 1 1 Wu Wengang , ~ao Yilong , Li Dachao , Zhang Peiyu and Wu Guoying ( 1 1nstztute of MzCroeleCtronzCs , Pekzng Unzuerszty , Bezjzng 100871, Chzna ) ( 2 State Key la}oratory of PreCzszon Measurzng TeChnology anc 1nstruments , Tzanjzn Unzuerszty , Tzanjzn 300072, Chzna ) : 2 2 - Abstract Novel torSion mirror optical SWitch arrayS are fabricated by uSing the miXed micromachining baSed on the Surface and bulk Silicon microelectronicS , then are inveStigated electromechanically in applied direct and alternating electric fieldS. When the thickneSS of the elaStic torSion beamS SuSpending the aluminum coated -