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- 2017-06-17 发布于湖北
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关于成像型椭偏仪投入试运行的通知
功能有机分子化学国家重点实验室新近购置的德国NFT公司的成像型椭偏仪,经过一段时间的调试和试运行后,仪器各项性能指标均正常且稳定可靠。该仪器主要承担方向性较强的科学研究工作,同时对外开放、提供分析测试服务。试运行期间有关样品测量合作研究事宜请与张浩力教授联系,电话: 8912365;E-mail: haoli.zhang@lzu.edu.cn。
技术参数
光学模式消光椭偏仪
检偏精度:0.001deg (Delta and Psi)absolute accuracy 0.01deg
测厚相对误差:≥0.001 nm(SiO2 on Si)
成像系统:带高精度增强型CCD及光电感应模块CCD camera with 768 × 572 pixels
成像精度:≥1um
光源:包括激光模块和光谱模块。激光模块为红宝石固体激光光源,532nm/20mw。光谱模块:wavelengths: 365 to 1000 nm;bandwidth: ± 6 nm。
自动测角仪:角度范围40-90deg;分辨率0.001deg;绝对精度0.01deg。
软件:WINDOWS界面操作;多区域成像及数据分析;常用光学库;实时2维图及3维图模拟,自动角度控制,光源切换,程序控制等等
附件:流动液体池,电化学SPR模块,LB槽等附件。其中SPR结合椭偏成像技术作动力学分
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