体声波压电薄膜共振器之研制与分析 - kuas.edu.tw.PDFVIP

下载本文档

4
0
约2.62万字
约 6页
2017-06-18 发布于天津
举报
版权申诉

体声波压电薄膜共振器之研制与分析 - kuas.edu.tw.PDF

1、本文档共6页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

体声波压电薄膜共振器之研制与分析 - kuas.edu.tw

論年六立 ‧ 沈立力 2.1.1 利數力( T ) ( S ) ( u ) Film bulk acoustic wave resonator FBAR 了度( v ) 數利 Transmission matrix, ABCD 數 matrix 數兩理律 C ∂T ρ ∂v (2-1) 1.5µm ∂z ∂t 2000Å 500Å 0.1µm ∂u S (2-2) 1.241GHz ∂z 1.45 1GHz 理論率 1.263GHz 兩 1.414GHz 理論 T CS (2-3) 理論數 ∂u v (2-4) FBAR ∂t (FBAR) 濾(Filter) ρ度 C 數 (stiffness constant) 1. (2-1)~ (2-4) 1 ∂2T 1 ∂2T 2 2 (2-5) ρ ∂z C ∂t 了率不易 (2-5) 度(phase velocity) 率GHz C va (2-6) µm ρ 率不略 2.1.2 數數 Quality 料料量 factor 理論力( E ) Mason 路路