微全分析系统中电泳芯片的一种制作方法A Fabricated ... - 化学通报.PDFVIP

化学通报 2001 年 第64 卷 w 108 微全分析系统中电泳芯片的一种制作方法 * 金庆辉 陈继锋 翁建华 章洪深 赵建龙 徐元森 中国科学院上海冶金研究所 上海 200050 摘 要 微全分析系统中电泳芯片的基体材料主要有硅片 普通玻璃 优质石英和有机高聚物 等 选用不同的材料其制作方法不一样 本文介绍了选用优质石英为芯片基体材料的一种制作方法 关键技术包括标准的光刻 湿法腐蚀 键合等微加工技术 并给出了100bp DNA Ladder 的芯片电泳 图谱 关键词 微全分析系统 电泳芯片 制作方法 A Fabricated Method of Electrophoresis Chip in -TAS JIN Qinghui, CHEN Jifeng, WENG Jianhua, ZHAN Hongshen, ZHAO Jianlong, XU Yuansen (Shanghai Institute of Metallurgy, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050 ) Abstract The material used in Electrophoresis Chip of Micro Total Analysis System (-TAS) is silicon, glass, fused silica and polymer, etc. The fabricated methods are different while different materials selected. This paper introduces a fabricated method of using fused silica as the chip material. It includes standard photolithography, wet chemical etching and bonding techniques. Also, it shows the electrophoragrams of 100bpDNA Ladder. Key words -TAS, Electrophoresis chip, Fabricated Method 微全分析系统(Micro Total Analysis Systems -TAS)[1]是以分析化学和生物化学及生物技术 为基础 以微光机电系统(MOEMS)技术为依托 以微管道网络为结构特征 将整个分析过程包 括采样 稀释 进样 反应 分离 检测等集成在微芯片上 实现分析系统从样品处理到检测 的整体微型化 集成化与便携化 其最终目的是通过化学分析设备的微型化与集成化 最大限 度地把分析实验室的功能转移到便携的分析设备中(如各类芯片) 实现分析实验室的 个人化 家用化 因此 微全分析系统也被通俗地称为 芯片实验室 (Lab-on-a-chip) 电泳芯片 (Electrophoresis Chip)是微全分析系统的重要组成部分 是采用微加工技术 在几平方厘米大小 的芯片上刻蚀出微管道网络和其它功能单元 形成进样 反应 分离 检测于一体的快速 高 效 低耗的微型分析装置 它的关键技术不仅涉及到微加工技术和芯片材料性能 以及信号的 检测 采集和处理技术方面的知识 还涉及到广泛的基础理论和应用基础知识 例如微管道中 粒子的运动规律 芯片的导电和导热性能 通道内壁吸附及微区反应规律等 本文介绍了系统 中最基本的元件 芯片的一种制作方法 并用制作好的芯片对100bpDNA Ladder 进行了分析 金庆辉