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薄膜体声波谐振器的梯形射频滤波器设计 - 声学技术
第 卷第 期 声 学 技 术 ,
27 2 Vol.27 No.2
年 月 ,
2008 4 TechnicalAcoustics Apr.2008
薄膜体声波谐振器的梯形射频滤波器设计
汤 亮 郝震宏 乔东海 汪承灏
, , ,
中国科学院声学研究所声学微机电实验室 北京
( , )
100080
摘要 从 等效电路模型出发 研究了基于薄膜体声波谐振器的梯形结构射频滤波器的设计 以往的研究中
: Mason , 。
都没有考虑到介质的声损耗 这样得到的滤波器频响中就未计入插入损耗的影响 采用射频网络方法对薄膜体声波
, 。
谐振器建模 并在模型中加入了介质声损耗的影响 然后就基于薄膜体声波谐振器的梯形射频滤波器的传输响应
, , 、
带宽 插入损耗 阻带抑制以及带内波纹情况进行了分析和讨论
、 、 。
关键词 滤波器 双工器 振荡器 射频微机电系统 薄膜体声波谐振器
: ; ; ; ;
中图分类号: , , 文献标识码: 文章编号: ( )
TN713TN015TN454 A 100002-0145-05
Designofladder-typeRFfiltersbasedonFBARs
, , ,
TANGLiang HAOZhen-hong QIAODong-haiWANGCheng-hao
( , , , )
MEMSlaboratoryoftheInstituteofAcoustics ChineseAcademyofSciences Beijing100080 China
: ( )
Abstract Designofladder-typeRFfiltersbasedonthefilm bulkacousticresonators FBARs ispre-
sentedbaseduponMasonequivalentcircuitmodel.Previousworkdidnottakeacousticattenuationin
themedium intoaccount;thereforetheeffectofmedialossontheobtainedfilterfrequencyresponsewas
,
neglected.Considerin
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