第章先进传感技术.pdf

第2章先进传感技术 第2章先进传感技术 现代检测技术 现代检测技术 唐 建 1 主要内容 主要内容 2.1 概述 2.2 新型传感效应 2.3 新型传感材料 2.4 先进加工技术 2 2.1 概述 传感技术是关于传感器原理、结构、材料、设计、制 传感技术 造及应用的综合技术。 传感器处于检测过程的第一个环节，它直接感受被测 参数，并将被测参数的变化转换成一种易于传送的物理 量，是获得信息的重要手段，与通信技术、计算机技术并 通信技术 计算机技术 称为现代信息技术中的三大核心技术。 人类已进入信息时代，获取信息是利用信息的先决条 获取信息 件。通过传感器获得的信息正确与否直接关系到整个测量 正确与否 或控制系统的成败与精度，因此在检测系统中占有十分重 要的位置。 3 2.2 新型传感效应 传感器的工作原理是建立在各种物理效应、化学效应 物理效应 化学效应 和生物效应基础之上的，所以研究发现新现象和新效应对 生物效应 传感技术的发展具有重要意义。 2.2.1 物理效应 物理效应是指利用某些物理规律，使敏感元件或功能 物理效应 材料的物理性质在被测量的作用下引起变化的特性，利用 物理效应制成的传感器称为物理型传感器。 物理型传感器 目前发展较快并在传感器领域得到应用的物理效应主 要有以下几种： 1. 光电效应 1. 光电效应 当光照射到光电材料上，材料发射电子、或者电导率 当光照射到光电材料上，材料发射电子、或者电导率 4 光电效应 发生变化、或者产生感生电动势，这种因光照使材料电学 发生变化、或者产生感生电动势，这种因光照使材料电学 特性发生改变的现象就称为光电效应。 特性发生改变的现象就称为光电效应。 根据光电效应可以制成不同的光电转换器件（即光电 根据光电效应可以制成不同的光电转换器件（即光电 效应传感器），将光信号转换成电信号。 效应传感器），将光信号转换成电信号。 光可以认为是由一定能量的粒子（光子）所组成，每 光可以认为是由一定能量的粒子（光子）所组成，每 个光子具有的能量正比于光的频率，光的频率越高，光子 个光子具有的能量正比于光的频率，光的频率越高，光子 的能量就越大。 的能量就越大。 光电效应实质是入射光粒子与物质中束缚于晶格的电 光电效应实质是入射光粒子与物质中束缚于晶格的电 子或自由电子的相互作用，使电子能态发生改变，并且这 子或自由电子的相互作用，使电子能态发生改变，并且这 种变化与光子能量大小有关，所以光电效应是一种波长选 种变化与光子能量大小有关，所以光电