硅太阳能电池的调制载流子红外辐射动态响应及参数分析.pdfVIP

物理 学报 ActaPhys．Sin．Vo1．63，No．22(2014) 227801 硅太阳能电池的调制载流子红外辐射动态 响应与参数分析 刘俊岩 ) 秦雷 ) 宋鹏 ) 龚金龙 ) 王扬 ){ A．Mandelis2) 1)(哈尔滨工业大学机电工程学院，哈尔滨 150001) 2)(CenterforAdvancedDiffusionWaveTechnologies(CADIFT)，MechanicalandIndustrialEngineering UniversityofToronto，Toronto，Ontario，MS53G8，Canada) (2014年 5月31日收到；2014年7月25日收到修改稿) 建立了调制激光诱发硅太阳能 电池 的少数载流子密度波数学模型，并利用光致载流子辐射检测掺杂浓 度、阻抗及载流子输运参数．对频域响应曲线中的双弯曲效应进行了研究，构建了小交流信号作用的太阳能电 池等效电路拓扑结构，仿真分析 了不 同掺杂浓度、阻抗 电阻和载流子传输参数对频响曲线拐点的影响．通过光 致载流子辐射频域扫描实验与多参数拟合检测 了单晶硅太阳电池的施 ／受主浓度、并联 电阻和载流子输运参 数．结果表 明：光致载流子辐射技术检测大面积太阳能电池频响曲线的双弯曲是由电容效应所引起的，建立 的数学模型可定量描述和预测检测结果，并用于测量太阳能电池的掺杂浓度、电阻和载流子输运参数． 关键词：调制 自由载流子辐射，扫频检测，PN结 电容，参数测量 PACS：78．20．Ci72．20．Jv．07．60．Dq DOI：10．7498／aps．63．227801 等 [7]提出掺杂硅 的三层理论模型可用于检测半导 1 引 言 体的载流子输运参数，可以用于太阳能电池的载流 子参数、电参数和掺杂浓度等多种参数的测定，还 硅基太阳能电池制造过程中要进行 12区和P区 可 以用于缺陷检测等多方面的应用，可以减少半导 掺杂操作 fn区施主浓度 Ⅳf1，P区受主浓度Ⅳa．)以 体制造业 中繁琐 的测量设备．太 阳能电池 的掺杂 制作太阳能电池的中性区与耗尽区，掺杂后载流子 浓度及面积等对调制激光诱发载流子辐射复合发 的输运参数f载流子寿命7-，载流子扩散系数D，表 光PCR信号的频域响应具有较大影响，当太阳能 面复合速率S)均会发生变化，并且 由于 电池表面 电池面积较小或施加较大前向偏置 电压条件下，调 污损、旁路漏 电等原因而引入 了并联 电阻Rh[1-3】， 制激光诱发载流子辐射复合发光PCR信号的频域 这些参数是影响太阳能电池品质的重要参量，因此 响应 曲线在高频段仅存在一个转折频率．一般情 对其测量是太阳能电池检测的一个重要方面 [415】． 况下，这个转折频率与太 阳能电池基体的少数载流 调制载流子辐射检测技术fphotocarrierra— 子传输参数有关 8【】．对于太阳能电池面积较大且 diometry，PCR)由多伦多大学Mandelis等 0【】提出， 施加前 向偏置电压较小，调制激光诱发载流子辐射 其信号与少数载流子密度 (或浓度)直接相关．采 复合发光PCR信号的频域响应 曲线会存在两个转 用近红外波段探测少数载流子辐射复合发光信 折频率 f称为PCR频响曲线双弯 曲)，因此有必要 号，结合锁相技术可 以得到半导体材料或太阳能 对PCR检测太阳能电池的频域响应特性进行深入 电池激光诱发少数载流子辐射复合发光的频域动 研究． 态响应，由于采用锁相技术与短波红外技术相结