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12cgq06_1 * * 第六章 压电式传感器 §6-1 压电效应与元件 压力→形变→电荷 ← ← 发电式 一.压电效应 d:压电系数 不能明确表示作用方向(晶向) 和产生电荷的晶面。 引入压电应力常数dij i=1,2,3:晶体极化方向 电荷微观移动方向 j:法向或切向应力及方向 =1,2,3:沿x,y,z单向（拉压）应力； =4,5,6:在垂直于x,y,z方向上的剪切应力 q:晶体表面电荷密度 dij反映了压电晶体的弹性应变 与其压电特性之间的耦合关系。 各晶面电荷面密度 dij表示单位应力所产生的电荷密度. 二 压电材料 1.单晶体（石英） z轴：光轴，中性轴； x轴：电轴，垂直于此轴 平面上的压电效应最强； y轴：机械轴，在电场作用 下机械变形最明显； 晶面：六角晶系,30个晶面 晶轴：x,y,z三个方向 X切 （1）结构 x切型:厚沿x;长沿y;宽沿z; （2）切型 y切型:厚沿y;长沿x;宽沿z. （3）微观分析 ▲无外力作用时:Si4+与O2-对称分布 电偶极矩的矢量和为零 ▲有外力作用时: x方向受力 P1减小，P2,P3增大。 矢量和从A指向B. y方向受力 P1增大，P2,P3减小。 矢量和从B指向A. ?1 ?2 q1=d11?1 q1=d12?2 =-d11?2 q1=d14?4 ?4:垂直于x方 向的剪应力 ?6:垂直于z方 向的剪应力 q2=d26?6=-2 d11?6 (2)石英晶体的优越性能 稳定，机械强度高 3.压电陶瓷 (1)压电陶瓷的极化 压电常数大，制造方便。 极化：20～30kV/cm场强,2 ～3 h。 未极化 极化中 极化后 电畴取向 不加外力：束缚电荷吸 引自由电荷，电中性。 加外力：电畴偏转，极 化强度变小，释放部分 自由电荷，压电效应。 ▲压电陶瓷的种类 (1)一元系压电陶瓷 钛酸钡 (2)二元系压电陶瓷PZT 锆钛酸铅 (3)三元系压电陶瓷PMN 铌镁酸铝 ▲.高分子有机压电薄膜 PVF2:聚二氟乙稀 PVF:聚氟乙稀 PVC:聚氯乙稀 三、压电元件常用结构形式 1.厚度变形（TE） ?1通过d11在x方向产生纵 向压电效应。最明显。 2.长度变形（LE） ?2通过d12在x方向产生 横向压电效应。 3.面剪切变形（FS） X切(厚沿x;长沿y;宽沿z)： 剪切应力作用在yoz面， 电荷出现在同一晶面: 受剪面与产生电荷面共面 Y切(厚沿y;长沿x;宽沿z)： 四.厚度剪切变形（TS） 晶片受剪面与产生 电荷面不共面 Y切: 剪切应力作用垂直于z轴,在zox面出现电荷: 能量转换效率比X切割的 厚度变形大一倍。 五.弯曲变形（BS） 特点： ②两片以上压电片 组合使用。 ①拉、压、切应力 共同作用； 并联 串联 abba: abab: