HCT线锯工艺规范...doc

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HCT线锯工艺规范..

文件制订/变更申请单 申请状态:首次发行 修订 废止 Application state:First issue Revised Abolished 文件类型:手册程序文件作业办法指导书技术文件图纸外来文件表单File types:anual Procedure Working instruction Work direction Technical document Drawings External document Form 系统名称 System name 质量管理体系 Quality management system 文件编号 Document No. JKW-TS-TN-006 文件名称 Document Name HCT线锯工艺规范 HCT Wire sawing process specification 申请单编号 Application No. DCN-1401695 总 页 数 Total pages 版 次 ion A2 制订/变更内容 Content formulating/ altering 制订/变更内容 修订后版本 The revised version 修订日期revision date 修订内容Revise the content A0 2014-5-13 新修订 A1 2014-9-8 1.修改: 添加拉线网动作 A2 2014-12-29 2.修改:取消激光测距 3.附加开机检查表 制 订 审 核 批 准 【文件发行日即生效日】发行章【】 于荣 JKS-QA-001A 1 目的: 规范硅片生产操作及安全操作,将操作步骤标准化,保证硅片一致性和确保安全生产。 2 适用范围: 一部二车间HCT-B5机台及相关操作人员和辅助人员。 3 定义: 保证员工在标准条件下作业,保证产品质量稳定,保证人员安全及设备机台稳定运行。 4 职责: 相关岗位必须按照作业流程执行,遵循标准文件严格执行。 5 作业说明: 5.1 更换新线轴 5.1.1 去除张力( 右图红色按钮)。 5.1.2 剪断钢线,直接将钢线绕在橡胶圈上。 5.1.3 拆除线轴螺丝,拿走法兰盘,用工具车取下旧线轴并放到指定区域内,注意 丝松动后由手动拆除,避免螺丝、法兰掉落地板砸伤人员或损坏机台。 5.1.4 用毛巾/无尘纸清洁适配器和法兰盘。 5.1.5 安装上新线轴。用定位销固定方向。确保线轴位置正确。用扳手紧固螺丝并听到“嗒、嗒声后停止;紧固须按下列步骤:销子卡位 - 紧螺丝 - 转线轴180度卡位 - 紧固 。这样线轴的受力均匀而且紧固。液压锥形轴,当切割结束时,关闭绕线室,锁好门,点击“钢线控制”把钢线弹出,用手把旧线拆卸到旧线车上,铁丝捆扎好,放置于指定区域,擦净法兰盘及锥形轴测距仪,重新上好法兰盘螺丝。 5.2 线网准备 5.2.1 将进线线头及新线线头打结(焊接);将出线通过滑轮并绕至收线轴。 5.2.2 启动主驱动,让线结缓慢的通过滑轮到达线导轮后停止,调整线结的方向,按照图2标示方向旋转几圈,然后搭接在线网上表面,这样能防止线结头被其他钢 线卷入线网而导致断线。用手辅助线结进入线网一段距离;然后正常走线。 5.2.3 整理跳线:由于槽内存在颗粒物,将钢线挤出原来的线槽,钢线进入其他线槽 形成跳线。上下导轮垂直方向两个线槽中,只有一个跳槽的,称为单向跳线,可以用手校正,使钢线恢复原位。下导轮跳线时应该用手压住该跳线的上方区域,同时正转线网,直至拇指压住的区域到达上导轮;上导轮跳线处理方法相反。 上下全部跳槽的,需要用胶带粘住“未跳线”区域的部分线网,整体向前(跳线位置在线网后半部分)或向后(跳线位置在线网前半部分)转动线网,以校正跳线。 5.2.4 启动主驱动, 注意随时从观察线结状态,如有异常(线网有缝隙等)马上停止,检查并修复。 5.2.5 等线结快出线网时(如下图),降低速度,并用手辅助线结缓慢的通过线网末端,在线网形成处,慢慢前进,以避免线结出导轮时相邻钢线“撞开”线结。这可能会导致钢线断开,进而整个线网全部散开。 5.2.6把线结绕到收线轴上几圈后,再检查线网有无跳线、交叉等现象。 5.2.7 线网处理动作必须一人操作,裸手(接触)处理线网时,线速不能超过2m/s,防止机器夹伤手指,或对人身造成更大的伤害。 5.3 切前准备 在开始切割之前,必须检查以下内容: 钢线是否足够,在控制面板上检查钢线长度。 输出轴上的钢线长度是否足够切 5.3.3检查张力壁的垂直位置是否合适;张力臂在跑线过程中是否稳定,摆动夹角小于10°。排线位置是否适当及调整是否正确,双边

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