精密特种加工第5讲在线检测与误差补偿.ppt

* 3.镗削工件内孔圆柱度的误差补偿 补偿后的内孔圆柱度误差减少了56％～64％ * 4.立铣工件直线度的误差补偿 该系统直线度误差减少了80％。 * 5.数控立铣工件平面度的误差补偿 平面度误差减少了80％ * 6.精密丝杠螺距的误差补偿 主轴 溜板 压电陶瓷 单个螺距误差可减少89％ * * 这是500纳米的测微头。 * 日本三丰的100纳米级的测微头。 * 这是三维移动台，精度微米级。 这些测量仪器看上去都是单向测量场合应用的，如果双向测量，误差就不止这些了。 * 这是深圳大学王老师收藏的日本三丰的 100纳米级的测微头。 是人家的垃圾。但我们现在还没有能提供这种商品的企业。 * 精密加工与特种加工 Precision and ultraprecision machining 第四讲 在线检测与误差补偿技术 * 概述 在线检测与误差补偿方法 在线检测与误差补偿技术 * 一、保证零件加工精度的途径 保证零件加工精度的途径： 1）“蜕化”原则，或称“母性”原则。 2）“进化”原则，或称“创造性”原则。 提高加工精度的途径： 1）隔离和消除误差； 2）误差补偿，用相应的措施去钝化、抵消、均化误差，使误差减小。 第1节 概述 * 二、加工精度的检测 1.离线检测 工件加工完毕后，从机床上取下，在机床旁或在检测室中进行检测。 2.在位检测 工件加工完毕后，在机床上不卸下工件的情况下进行检测。 3.在线检测 工件在加工过程中的同时进行检测，又称主动检测、动态检测。 * 在线检测特点 1）能够连续检测加工过程中的变化，了解在加工过程中误差分布和发展； 2）检测结果能反映实际加工情况； 3）在线检测的难度较大； 4）在线检测大都用非接触传感器，对传感器的性能要求较高； 5）一般是自动运行，形成在线检测系统。 在线检测类型 1）直接检测系统：直接检测工件的加工误差，并补偿 2）间接检测系统：检测产生加工误差的误差源，并补偿 * 三、误差补偿技术 1.误差补偿的概念 在机械加工中出现的误差采用修正、抵消、均化、钝化等措施使误差减小或消除——误差补偿。 从狭义的角度分析：误差修正（校正）是指对测量、计算、预测所得的误差进行修正（校正)；误差分离是指从综合测量所得的误差中分离出所需的单项误差；误差抵消是指两个或更多个误差的相互抵消；误差补偿是对一尺寸、形状、位置差值的补足。 * 2.误差补偿的类型 （1）实时与非实时误差补偿 实时误差补偿—加工过程中，实时进行误差检测，并紧接着进行误差补偿，不仅可以补偿系统误差，且可以补偿随机误差。非实时误差补偿—只能补偿系统误差。 （2）软件与硬件误差补偿 软件补偿—通过计算机对所建立的数学模型进行运算后，发出运动指令，由数控随动系统完成误差补偿动作。软件与硬件补偿的区分是看补偿信息是由软件还是硬件产生的。 * 2.误差补偿的类型 （3）单项与综合误差补偿 综合误差补偿是同时补偿几项误差，比单项误差补偿要复杂，但效率高、效果好。 （4）单维与多维误差补偿 多维误差补偿是在多坐标上进行误差补偿，难度和工作量都比较大，是近几年来发展起来的误差补偿技术。 * 3.误差补偿过程 1）反复检测出现的误差并分析，找出规律，找出影响误差的主要因素，确定误差项目。 2）进行误差信号的处理，去除干扰信号，分离不需要的误差信号，找出工件加工误差与在补偿点的补偿量之间的关系，建立相应的数学模型。 3）选择或设计合适的误差补偿控制系统和执行机构，以便在补偿点实现补偿运动。 4）验证误差补偿的效果，进行必要的调试，保证达到预期要求。 * 1）误差信号的检测 2）误差信号的处理 3）误差信号的建模 4）补偿控制 5）补偿执行机构 1 2 3 4 5 计算机控制系统 误差补偿系统组成示意图 1－误差信号检测 2－误差信号处理 3－误差信号建模 4－补偿控制 5－补偿执行机构 4.误差补偿系统的组成 * 5.误差补偿技术的发展 1）预报型补偿 Fore－casting Compensatory Control－FCC技术，利用在线随机建模理论、先进的传感技术、计算机技术、微位移技术等，对误差进行建模和预报，对动态误差进行实时补偿。 2）综合型补偿 对工件尺寸、形状和位置误差同时进行综合补偿，其中包括对尺寸、形状和位置一种误差中的多项误差进行综合补偿。 * 第2节 在线检测与误差补偿方法 一、形状位置误差的在线检测 1.外圆、孔类形状位置误差的测量方法 三点法 建立如图所示的直角坐标系。O1点的极坐标为x(θ)和y(θ)。s(θ)为被测工件的轮廓形状误差。测微仪A、B、C的输出信号分别为A(θ)、B(θ)、C(θ)，则 * 消去x(θ)和y(θ)得三点法误