图形反转剥离工艺用于复合含能点火桥膜的制备.pdfVIP

2012 08 INITIATORS PYROTECHNICS 2012 4 文章编号：1003-1480201204-0001-05 图形反转剥离工艺用于复合含能点火桥膜的制备 1 1 1 1 2 1 王成玲 ，叶迎华 ，沈瑞琪 ，杨 程 ，余协正 ，朱 莹 1. 210094 2. 100074 摘 要： Ti Si N /Si 80μm2μm W Ni/Al 3 4 SEM EDS Al Ni Ni/Al 100F 140V Ni/Al 关键词：MEMS 中图分类号：TQ560.6 文献标识码：A Image Reversal Lift-off Pro