磷铝吸杂在多晶硅太阳电池中的应用 - journal of semiconductors.pdfVIP

第 26 卷 　第 2 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol. 26 　No. 2 2005 年 2 月 　　 CHIN ESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS 　　Feb. ,2005 磷铝吸杂在多晶硅太阳电池中的应用 1 ,2 1 2 2 2 2 2 赵 　慧 　徐 　征 　励旭东 　李海玲 　许 　颖 　赵玉文 　王文静 ( 1 北京交通大学光电子技术研究所 , 北京　100044) (2 北京市太阳能研究所 , 北京　100083) ( ) 摘要 : 研究了多晶硅的浓磷扩散吸杂、铝吸杂、磷铝联合吸杂 双面蒸铝 . 采用准稳态光电导衰减法测试了吸杂前 μ 后多晶硅片的有效少数载流子寿命 ,发现磷铝联合吸杂于硅片少子寿命的提高最大达 30 s 以上,其次是磷吸杂 , 铝吸杂再次之. 采用吸杂后的多晶硅片制备了 1cm ×1cm 的太阳电池 ,与相同条件下未经吸杂制备的电池相比 ,发 现三种吸杂方式都能提高电池的各项电学特性 ,其中磷铝联合吸杂提高电池效率最大 ,达 40 % 以上,最差为铝吸 杂 ,只有 15 %左右的提高 ,这与吸杂后所测得的少子寿命的变化趋势一致. 实验说明三种吸杂方式在不同程度上促 成了硅片界面晶格应力对重金属杂质的吸附作用 ,减少了载流子的复合中心 ,从而提高了有效少数载流子的寿命 ; 而有效少数载流子的寿命直接影响到电池的效率. 关键词 : 磷/ 铝吸杂 ; 少子寿命 ; 多晶硅太阳电池 PACC : 7220 ; 7280 ; 7820 中图分类号: TN304 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : (2005) 的理论. 1 　前言 关于铝吸杂 , 目前主要有两种机制可以解释,即 ( 分凝机制 杂质在 Al/ Si 合金和硅之间分凝 ,而在合 多晶硅太阳电池具有价格低、可制成方片、利于 ) ( 金中的固溶度高 和沉积机制 合金层中有大量缺 ) 组件排列等优点 ,在近几年光伏市场中所占的比重 陷 ,杂质与缺陷结合能量更低 . 实验方面 ,也有大量 已经超过50 %. 我国多晶硅电池研究与国外相比有 关于铝吸杂的报道[1 ] ,但和磷吸杂一样 ,这方面的 一定差距. 目前, 国际上小面积多晶硅电池最高转换 研究没有定论. 效率已经达到 198 %. 工业化生产的大面积电池平 另外 ,近年已有关于磷铝联合吸杂的报道 , 即 均效率也在 14 %以上,而国内多晶硅电池的效率比 背面有铝时 ,在同一个高温过程中完成磷吸杂和铝 此约低了 2 个百分点. 吸杂. 目前, 国内关于两面蒸铝然后再扩磷的研究不 多晶硅中存在大量的微缺陷和较多的铜、铁、 多 ,国外有些初步的尝试[2 ,3 ] ,一些文献认为该方法 镍、