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微机电系统 教材 课程安排 授课内容 第一章微机电系统（MEMS）概论 内容提要 一、MEMS的形成与发展 1、MEMS的形成基础 2、MEMS的特点 3、MEMS的发展 二、MEMS设计的基本问题 MEMS设计要求和设计基本思想 建立统一的物理特征参量 三、MEMS的制造方法概述 1、在IC加工平台上发展的工艺 体微加工技术 高深宽比批量复制微加工技术 表面微加工技术 2、非IC工艺 3、封装（键合、封装、检测） 本章重点难点 本章学习要求 * 机械电子工程学院专业选修课程 Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS) 参考书籍 微系统技术，[德]W.Menz著，王春海等译， 化学工业出版社，2003 半导体制造技术，[美]Michael Quirk Julian Serda著，韩郑生等译，电子工业出版社，2003 刘晓明,朱钟淦.《微机电系统设计与制造》国防工业出版社,2006 课 时—— 32 hours 上课时间——第9周-第16周 周一10:20AM，主楼东Room401 周三10:20AM，主楼东Room219 考试方式——闭卷 考分比例——期末考试70% 不设中期考试