第五章 真空技术.ppt

* 第五章 真空技术 第一节 真空的一般概念和应用 真空状态下气体的稀薄程度通常以压强值表示。根据国际单位制(SI): 1Torr = 1mmHg = 133.322Pa 为实际应用方便，人们常把气体空间的物理特性用真空泵、真空规的有效使用范围和真空技术应用特点这三方面比较相近的真空度，定性地划分几个区段。 粗真空： 105～103 Pa 760~10mmHg 低真空 ： 103～10-1Pa 10~10-3mmHg。(10-3mmHg是机械 真空泵能达到的极限) 高真空：10-1～10-6Pa 10-3~10-8mmHg(10-8mmHg 是扩散泵能达到的极限）。 超高真空：10-6Pa(10-8mmHg) 第二节 气体的基本定律和真空下气体某些性质 一、气体的基本定律 1.理想气体的气态方程 注意气体常数R常用的数值： 0.08205 L·atm· K-1·mol-1 62.361 L ·mmHg · K-1·mol-1 8.314 J · K-1·mol-1 2.波义耳定律 低温下气体的压强与其密度成正比： P = 常数·ρ 3.盖吕萨克定律 在恒容下，一定量气体的压强与温度成正比。 即：P = 常数·T 4.道尔顿分压定律 P总＝ P1 + P2 +……+ Pn 上述定律在气体压强不高于大气压才能成立，因而在真空技术中可以不作任何修正。 5.气体定律对蒸气的适用性 物质的临界温度：在这一温度以上，物质只能处于气态，无论 怎么压缩也不能使其液化。 高于临界温度的气态物质——气体。 低于临界温度的气体物质——蒸气。 几种物质的临界温度 14．5 31．0 194．0 243．0 374 ．0 1450 ．0 3700 ．0 氙 二氧化碳 乙醚 酒精 水 汞 铁 －267．8 －241 ．0 －228 ．0 －147．0 －140．0 －122．4 －118．0 －62．5 氦 氢 氖 氮 空气 氩 氧 氪 临界温度（℃） 物质 临界温度 （℃） 物质 几种物质的临界温度 从表中可看出：氦、氢、氧、氮等气体的临界温度远低于室温。 在室温下，它们被称为“永久气体”。 而水的临界温度高于室温，在室温下叫做蒸气。 在一定温度下，密闭容器中物质的蒸发速度与凝聚速度相同时蒸气的压强称为饱和蒸气压。 饱和蒸气压随温度的增加而增加，与容器的体积无关。 当体系处于饱和状态时，上述气体定律中的波义尔定律和盖吕萨克定律不适用。 道尔顿定律适用于气体和蒸气。 几种真空材料在室温下的饱和蒸气压见下表 1.8×10-8 汞 10-5～10-8 普通扩散泵油 10-2～10-3 机械泵油 10-3～10-7 密封油 17.5 水 饱和蒸气压（Torr) 材料名称 饱和蒸气压（Torr) 材料名称 二、真空下气体的某些性质 1.气体分子的平均自由路程 一个分子在前后连续两次碰撞之间所行进的距离称为分子的自由路程。 分子的平均自由路程可由下式求得： 式中 P——压强，mmHg σ——分子直径，cm K——波兹曼常数＝R/6.02×1023 气体分子的平均自由路程与压强成反比。 对20℃时的空气： λ（空气）＝4.72×10-3/P≈5×10-3/P(cm) 不同压强下空气分子的平均自由路程见后表： ~500km ~5km ~5000cm ~5cm 5×10-3cm 6×10-6cm λ 10-10 10-8 10-6 10-3 1 760 P(Torr) 从表中可看出：气体分子的平均自由路程随真空度的提高而加大。直至分子只与容器壁碰撞，而分子之间不发生碰撞。 ?D时，低真空。（分子之间碰撞为主） λ ≈D时，中真空。（分子与分子、分子与容器壁的碰撞都有） ?D时，高真空。（分子与容器壁之间的碰撞为主）（D真空容器的直径） 2.真空下物质的蒸发和凝结 在低真空下蒸发的原子与气体分子碰撞后