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纤维和纺织品测试技术 之--近代测试技术概论 近代测试技术 测试图片 测试图片 显微镜分析技术 显微镜分析技术 1 2 3 4 5 扫描电子显微镜SEM 透射电子显微镜TEM 原子力显微镜AFM 其它显微镜 电子数码显微镜 分析物体的表面结构特征 分析物体的内部精细结构 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。扫描电子显微镜能被用来鉴定样品的表面结构。 扫描电镜的优点是：①有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制备简单。目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪（XPS）装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析。 高能电子束扫描激发 利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。 当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。 二次电子来自表面5-10nm的区域。它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的微观形貌。由于它发自试样表层，入射电子还没有被多次反射，因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没有多大区别，所以二次电子的分辨率较高，一般可达到5-10nm。扫描电镜的分辨率一般就是二次电子分辨率。 显微镜分析技术 显微镜分析技术 Conductive Coating （喷金） An ultrathin coating of electrically-conducting material （导电材料）, deposited either by high vacuum evaporation or by low vacuum sputter（喷溅、溅射）coating of the sample. This is done to prevent the accumulation of static electric fields at the specimen due to the electron irradiation（放射、辐射） required during imaging. Such coatings include gold, gold/palladium（钯）, platinum（铂）, tungsten（钨）, graphite（石墨） etc. and are especially important for the study of specimens with the scanning electron microscope. Another reason for coating, even when there is more than enough conductivity, is to improve contrast, a situation more common with the operation of a FESEM (field emission SEM). When an osmium（锇） coater is used, a layer far thinner than would be possible with any of the previously mentioned sputtered coatings is possible. 喷金：为了使标本表面发射出次级电子，标本在固定、脱水后，要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。 透射电子显微镜 透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)，可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。 由于电子束的穿透力很弱，因此用于电镜的标本须制成厚度约50nm左右的超薄切片。这种切片需要用超薄切片机制作。电子显微镜的放大倍数最高可达近百万倍。 电子束穿透 由电子枪发射出来的电子束，在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜，通过聚光镜将之会聚成一束尖细、明亮而又均匀的光斑，照射在样品室内的样品上；透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息，样品内致密处透过的电子量少，稀疏处透过的电子量多；经过物镜的会聚调焦和初级放大后，电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像，最终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上；荧光屏将电子影像转化为可见光影像以供使用者观察。 显微镜分析技术 光谱/波