第五章 薄膜的性质.pptVIP

第五章 薄膜的性质 为了对薄膜的材料、用途、功能等客观地进行评价，需要测定薄膜的各种特性和效应。 本节所讨论的内容，不是以作成器件为测试对象，而仅是以薄膜材料的形式为测试对象。 第一节 薄膜的力学性能 薄膜大都是附着在各种基体上，因而薄膜和基体之间的附着性能将直接影响到薄膜的各种性能，附着性不好的薄膜无法使用。 薄膜在制造过程中，其结构受工艺条件的影响很大，薄膜内部产生一定的应力。基体材料与薄膜材料之间的热膨胀系数的不同，也会使薄膜产生应力，过大的内应力将使薄膜卷曲或开裂导致失效。 所以在各种应用领域中，薄膜的附着力与内应力都是首先要研究的课题。 一、薄膜的黏附力 薄膜的附着性能在很大程度上决定了薄膜应用的可能性和可靠性，这是在薄膜制造过程中普遍关心的问题。 对薄膜最基本的性能要求之一就是其对衬底的附着力要好。 1、附着现象 从宏观上看，附着就是薄膜和基体表面相互作用将薄膜黏附在基体上的一种现象。 薄膜的附着可分为四种类型： ①简单附着； ②扩散附着； ③通过中间层附着； ④宏观效应附着。 附着的四种类型示意图 2、 附着表征 黏附力或者结合能的测定可分为两大类。一类是机械法，另一类是形核法。 机械法大致有：①划痕试验法；②拉力试验法；③剥离试验法；④磨损法；⑤离心力试验法；⑥弯曲法；⑦碾压法；⑧锤击法；⑨压痕法；⑩气泡法等。 薄膜附着力的测量方法 牢