多路径模型对相位测量轮廓术的影响.pdfVIP

第 26卷第 4期 计算机辅助设计与图形学学报 Vo1．26No．4 2014年 4月 JournalofComputer—AidedDesign ComputerGraphics Apr．2014 多路径模型对相位测量轮廓术的影响 许晓畅”，王永昌 ，刘 凯” ”(四川大学电气信息学院 成都 610065) (KLA-Tencor，Milpitas CA 95035USA) (kailiu@SCU．edu．on) 摘 要 ：为了克服多路径效应对相位测量轮廓术 的影响，提出一种相位融合算法．首先建立多路径效应 的数学模型， 并利用该模型分析多路径效应引起的相位误差，得 出了该效应 引起 的相位误差主要发生在反射率变化剧烈的地方 ， 其除了与邻域 内每点的真相位值和真反射率有关外，还与扫描 的方 向有关的结论 ；然后基于该分析推导出相位融合 算法，沿 x，Y方向扫描分别得到2组相位值，再根据物体表面反射率的变化对 2组相位进行融合，完成相位的修正． 实验结果表 明，即使投射大量 的编码 图片，由多路径效应 引入 的相位误差仍然存在且不可忽略，采用文 中算法可 以 有效地使相位误差减小 2倍． 关键词 ：无接触式三维测量 ；相位测量轮廓术 ；多路径模型；相位误差 ；相位修正 中图法分类号 ：TP391 EffectofMulti—pathModelforPhaseM easuringProfilometry XuXiaochang”，W angYongchang ，andLiuKai’ ”(SchoolofElectricalEngineeringandInformation，SichuanUniversity，Chengdu 610065) (KLA-Tencor，M ilpitas，CA 95035USA) Abstract：In orderto overcomemulti—path effectforphasemeasuring profilometry，aphase fusion algorithm isproposed．First，webuildamathematicalmodelforthemulti—patheffect，and thenwe analyzethemulti—path—effect—causedphaseerrorviathemode1．Second，wefind thatthephaseerror causedbythemulti—patheffectismainlyraisedin theareawherethereflectivitydramaticallyvaries； andforapixel，besidesthetruephasevaluesand thetruereflectivityofthepixel’Sneighbors，the multi—patheffectisalsowithregardtoscanningdirection．Finally，aphasefusionalgorithm isderived basedon thepreviousanalysis，i．e．，twogroupsofphasevaluesareobtainedby scanning atarget alongX directionandY directionrespectively，and thenthetwogroupsofphasevaluesarefusedby employing the corresponding reflectivity of the target． Thus the phase error is corrected ． The experimentalresultsdemonstratethatsuch kindofphaseerroralwaysexistsandisnotignorableeven ifthenumberofprojectedpatternsisincreased，and，withtheproposedmethod