补偿压电陶瓷迟滞和蠕变的逆控制算法摘要.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １４ ６ 　 Ｖｏｌ．１４ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００６ １２ Ｄｅｃ．２００６ 　　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００６０６１０３２０９ 　 补偿压电陶瓷迟滞和蠕变的逆控制算法 １ １ 王岳宇 ，赵学增 （ 哈尔滨工业大学 机械电子工程学院，黑龙江 哈尔滨 ） １． １５０００１ 摘要：研究了用于扫描探针显微镜，特别是原子力显微镜（ ）中的扫描器高精度定位问题。压电陶瓷驱动器通常用 ＡＦＭ 于这种扫描器中，在无补偿的开环控制期间，它在输入电压和输出位移之间表现出明显的迟滞和蠕变。迟滞和蠕变降低 了扫描器的定位精度并使扫描图像出现了畸变。给出了迟滞和蠕变模型及参数的在线辨识方法。在 ＡＦＭ 的扫描控制 中，使用基于该模型的逆控制算法补偿了压电陶瓷的迟滞和蠕变。在分析中， 迟滞模型和对数蠕变模型被用于 Ｐｒｅｉｓａｃｈ 描述压电陶瓷驱动器的非线性。由于该方法不需要在控制过程中进行参数设置，因此很容易使用。此外由于是开环控 制方法，可以具有更好的分辨率。闭环操作能够给出较好的迟滞和蠕变补偿，但由于在高带宽情况下传感器动态范围的 限制，对于小扫描区域或样本特征，它减小了成像的分辨率。三角波轨迹跟踪的仿真结果说明轨迹误差在传感器噪声量 级上，证明了这个方法的有效性。 关 键 词：原子力显微镜；压电陶瓷；迟滞；蠕变 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＰ２７３＋．２ Ａ 　　 犐狀狏犲狉狊犲犮狅狀狋狉狅犾犪犾狅狉犻狋犺犿狋狅犮狅犿 犲狀狊犪狋犲狋犺犲犺狊狋犲狉犲狊犻狊犪狀犱 犵 狆 狔 犮狉犲犲 犲犳犳犲犮狋狅犳犻犲狕狅犮犲狉犪犿犻犮 狆 狆 ， ＷＡＮＧＹｕｅｕ ＺＨＡＯＸｕｅｚｅｎ ｙ ｇ （ ， ， ， ） １．犛犮犺狅狅犾狅 犕犲犮犺犪狋狉狅狀犻犮狊犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犎犪狉犫犻狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犎犪狉犫犻狀１５０００１ 犆犺犻狀犪 犳